Bruker 公司的Anasys nanoIR3型纳米红外光谱测量系统，是一款基于原子力显微镜（AFM）的纳米表征工具。其采用光热诱导共振技术（PTIR，也称AFM-IR），使红外光谱的空间分辨率突破了光学衍射极限，提高至10纳米级别。为揭示纳米尺度下的表界面红外光谱信息提供了可能。该技术曾荣获2010年度美国R&D100大奖。
下面是nanoIR3的技术优势：
10nm高化学解析分辨率，揭示微区化学组分
准确的微区化学表征：基于光热诱导效应PTIR原理，与FTIR光谱吻合，没有吸收峰的任何偏移；
快光谱采集：光谱采集速度：<3s/光谱，光谱分辨率: <1 cm-1；
AFM成像速度一致的快速化学成像，全自动光路优化，避免实验困恼；
二维可视化光斑追踪，保证佳信号；
全自动软件控制入射光束准直技术修正激光的偏移，动态能量调整，确保信号的准确性；
嵌段共聚物P2VP&PS的AFM-IR光谱和红外成像
宽中红外激光，实现O-H, N-H, C-H等官能团的表征
宽中红外激光：800-3600 cm-1；
多种光源可选，可集成THz，同步辐射光源，可见光，近红外，自由电子激光器等；
3.支持全系列扫描探针显微镜模式。
Contact Mode（接触模式）
Tapping Mode（轻敲模式）
Lateral Force Microscope（横向力/摩擦力显微镜）
Phase Imaging（相位成像）
Magnetic Force Microscopy (磁力显微镜)
Electrostatic Force Microscopy (静电力显微镜)
Conductive Atomic Force Microscopy (导电原子力显微镜)
Kelvin Probe Force Microscopy (开尔文探针力显微镜)
Force Curve Spectroscopy（力曲线）
Liquid Imaging（液态环境扫描）
Heater-Cooler Imaging（高低温环境扫描）
SThM（扫描热显微镜）
Nano-TA（纳米热分析）
LCR（洛伦兹纳米力学分析）
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