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利用白光干涉可以实现非接触式高精度精细表面纹理测量。
利用白光干涉的非接触式高精度精细表面纹理测量→3D形状测量、3D粗糙度测量
高度测量精度与光学放大倍数无关即使使用低倍率镜头也可进行高 Z 分辨率测量
高纵横比测量支持高纵横比形状测量，检测不依赖于光学系统的数值孔径
抗干扰振动的高鲁棒性
小巧轻便
| 符号 | WLI-单元-003 | WLI-单元-005 | WLI-单元-010 |
|---|---|---|---|
代码号 | 554-001 | 554-002 | 554-003 |
WLI-单元传感器头电缆长度 (m) | 3 | 五 | 十 |
WLI-Unit 传感器头 兼容物镜 | WLI计划Apo系列 | WLI计划Apo系列 | WLI计划Apo系列 |
WLI-Unit 传感器头成像放大倍率 | 1× | 1× | 1× |
WLI-Unit 传感器头焦距 f(mm) | 100 | 100 | 100 |
WLI-Unit 传感头扫描机构 | 内部物镜扫描仪 | 内部物镜扫描仪 | 内部物镜扫描仪 |
WLI-单元传感器头尺寸（毫米） | 108×68×191 | 108×68×191 | 108×68×191 |
WLI-Unit 传感器头重量 (kg) | 1.7 | 1.7 | 1.7 |
笔记
物镜是可选的。
推荐电脑规格
操作系统：Windows 10Pro 64bit / Windows 11Pro 64bit
CPU：Xeon 处理器 8 Core（2.0GHz 或更高）
内存：8GB 或更高
存储空间：25GB 或更高
光驱：DVD-ROM 驱动器（用于软件安装）
通信端口：RJ -45×1端口（EtherNET）
扩展槽：PCI Express 3.0×8或更高
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