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通过同步 XY 主体驱动和闪光灯照明，可以在不停止载物台的情况下执行不间断图像测量，并配备可大幅缩短测量时间的流功能。
这是一款配备非接触式位移传感器的复杂测量机，能够利用扫描功能测量精细台阶和 3D 形状。
采用双针孔法作为位移传感器的检测方法。与刀口法和三角测量法相比，可以实现无方向性测量。
激光光斑直径小至约2μm，可以测量微小的形状。
配备频闪照明，可以执行高通量测量，同时缩短载物台稳定时间。
数字放大功能可进一步放大显示。
| 符号 | QVH1-X302P1L-E | QVH1-X404P1L-E | QVH1-X606P1L-C |
|---|---|---|---|
代码号 | 365-631-10 | 365-641-10 | 365-651-10 |
测量范围(XxYxZ)(mm) | 300x200x200 | 400×400×250 | 600×650×250 |
位移传感器图像 通用测量范围 (XxYxZ)mm (HYBRID TYPE1) | 180x200x200 | 280x400x250 | 480×650×250 |
测量精度 (μm)E UX /E UY,MPE | (1.5+3L/1000) | (1.5+3L/1000) | (1.5+3L/1000) |
测量精度 (μm)E UXY,MPE | (2.0+4L/1000) | (2.0+4L/1000) | (2.0+4L/1000) |
测量精度 (μm)E UZ,MPE | (1.5+4L/1000) | (1.5+4L/1000) | (1.5+4L/1000) |
位移传感器（E 1 Z轴）（um） | (1.5+4L/1000) | (1.5+4L/1000) | (1.5+4L/1000) |
观察装置 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、（数字变倍12x）系列 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、（数字变倍12x）系列 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、（数字变倍12x）系列 |
照明 垂直落射照明 | 白色LED | 白色LED | 白色LED |
照明 透射照明 | 白色LED | 白色LED | 白色LED |
照明环照明 | 白色LED | 白色LED | 白色LED |
温度修正功能 | 手动温度补偿 | 手动温度补偿 | 手动温度补偿 |
测量对象最大装载质量（kg） | 20 | 40 | 50 |
机身质量（含安装支架）（kg） | 365 | 650 | 第1475章 |
安装玻璃尺寸（毫米） | 399×271 | 493×551 | 697×758 |
机身外部尺寸（宽x深x高）（毫米） | 930 x 866 x 1047（不含突出物/不含专用安装支架） | 1426 x 1118 x 1381（不含突出物/不含专用安装支架） | 1994 x 1400 x 1572（不含突出物/不含专用安装支架） |
体重（公斤） | 270 | 550 | 1340 |
其他的 | 刻度分辨率：0.1μm | 刻度分辨率：0.1μm | 刻度分辨率：0.1μm |
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