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CV-3000CNC / CV-4000CNC
218 系列 — CNC 轮廓测量系统
218系列超级轮廓测量仪的技术参数
X1 轴
测量范围: 200mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 200mm/s (zui大 CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
测量速度: 0.02 - 2mm/s
测量方向: 向前／向后
直线度: 2μm / 200mm
* 以X1 轴为水平方向上
指示精度 (20ºC 时): ±(1+4L/200)μm (CV-3000CNC),
±(0.8+4L/200)μm (CV-4000CNC)
* L = 驱动长度 (mm)
a 轴
倾斜角度: -45º (CCW) - +10º (CW)
分辨率: 0.000225º
倾斜范围: 1rmp
Z2 轴 (立柱)
垂直移动: 300mm 或 500mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 200mm/s (zui大 CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
基座尺寸 (W x H): 750 x 600mm
基座材料: 花岗岩
Z1 轴 (检出器)
测量范围: ±25mm
分辨率: 0.2μm (CV-3000CNC),
0.05μm (CV-4000CNC)
检测方法: 线性编码器 (CV-3000CNC)
激光全息光栅尺 (CV-4000CNC)
指示精度: ± (2+I4HI/100)μm (CV-3000CNC)
(20ºC 时) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (CV-4000CNC)
*H 为水平位置上的测量高度 (mm)
测针上／下运作 : 弧形运动
测针方向: 向上／向下
测力: 30mN
跟踪角度: 向上: 70º, 向下: 70º
(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)
测针针尖: 25μm, 硬质合金针尖
Y 轴
测量范围 : 200mm
分辨率 : 0.05μm
驱动速度: zui大200mm/s (CNC 模式)
0~60mm/s (操纵杆控制模式)
台面zui大承重 : 20kg
直线度 : 2μm/200mm
指示精度 (20ºC): ±(2+2L/100)μm
L = 任意两点间的长度 (mm)
重量: 240kg, 250kg (高立柱型)
(Y 轴工作台与振动隔离站的重量除外)
电源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗: 500W (*主机)
218系列超级轮廓测量仪的性能参数
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