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EX3自动椭圆偏振测厚仪是基于消光法（或称“零椭偏"）测量原理，针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款自动测量型教学仪器。与EM22仪器相比，该仪器采用半导体激光器作为光源，稳定性好，体积小。
EX3仪器适用于纳米薄膜的厚度测量，以及纳米薄膜的厚度和折射率同时测量。
EX3仪器还可用于同时测量块状材料（如，金属、半导体、介质）的折射率n和消光系数k。
产品分类品牌分类
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产品简介
详细介绍
EX3自动椭圆偏振测厚仪
特点:
消光法椭偏测量原理
仪器采用消光法椭偏测量原理，易于操作者理解和掌握椭偏测量基本原理和过程。
方便安全的样品水平放置方式
采用水平放置样品的方式，方便样品的取放。
紧凑的结构
集成设计，简洁的仪器外形通过USB接口与计算机相连，方便仪器使用。
高稳定性光源
采用半导体激光器作为探测光的光源，稳定性高，噪声低。
丰富实用的样品测量功能
可测量纳米薄膜的膜厚和折射率、块状材料的复折射率等。
便捷的自动化操作
仪器软件可自动完成样品测量，并可进行方便的测量数据分析、仪器校准等操作。
安全的用户使用权限管理
软件中设置了用户使用权限（包括：管理员、操作者等模式），便于仪器管理和使用。
可扩展的仪器功能
利用本仪器，可通过适当扩展，完成多项偏振测量实验，如马吕斯定律实验、旋光测量实、旋光等。
EX3自动椭圆偏振测厚仪
应用领域:
EX3适合于教学中单层纳米薄膜的薄膜厚度测量，也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。
EX3可测量的样品涉及微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等领域。
EX3自动椭圆偏振测厚仪是基于消光法（或称“零椭偏"）测量原理，针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款自动测量型教学仪器。与EM22仪器相比，该仪器采用半导体激光器作为光源，稳定性好，体积小。
EX3仪器适用于纳米薄膜的厚度测量，以及纳米薄膜的厚度和折射率同时测量。
EX3仪器还可用于同时测量块状材料（如，金属、半导体、介质）的折射率n和消光系数k。