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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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小型PVE管式爐系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào):OTF-1200X-50S-PE

品       牌:其他品牌

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

更新時(shí)間:2025-03-13 09:27:47瀏覽次數(shù):2516次

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產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池
加熱爐參數(shù): ?最高溫度:1100℃(《30min);連續(xù)工作溫度:1000℃
OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統(tǒng)(PECVD)。該設(shè)備配有等離子射頻電源,開(kāi)啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)及一個(gè)直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。此套設(shè)備模型可組合為不同類型的PECVD系統(tǒng),且設(shè)備性價(jià)較為理想。

產(chǎn)品特點(diǎn):

射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;

整套設(shè)備尺寸小巧;

可通過(guò)工藝調(diào)節(jié)來(lái)控制化學(xué)計(jì)量;

可通過(guò)射頻電源的頻率來(lái)進(jìn)行控制薄膜的應(yīng)力。

加熱爐參數(shù):

最高溫度:1100℃(《30min);連續(xù)工作溫度:1000℃;

•PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;

輸入電源:208- 240V AC,功率:1.2KW;

爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

射頻電源:

image.png 

真空系統(tǒng):

采用TRP-12的雙旋真空泵;

•KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

真空度可達(dá)10-2Torr。

產(chǎn)品尺寸和重量:

尺寸:1500mm L'600mm W'1200mm H

凈重: 75 kg

 

質(zhì)保:

一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件


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