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HORIBA SEC-E40（MK3）質(zhì)量流量控制器
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
HORIBA SEC-E40(MK3)質(zhì)量流量控制器
概要
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，必須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在必須對(duì)流量進(jìn)行精確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽(yáng)能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
特征
- 適用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM（以N2為標(biāo)準(zhǔn)）
- 被廣泛的使用于的制造業(yè)，從一般工業(yè)到高科技產(chǎn)業(yè)。
制造: HORIBA STEC
HORIBA SEC-E40(MK3)質(zhì)量流量控制器