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塵埃粒子計(jì)數(shù)器工作原理
閱讀：1333 發(fā)布時(shí)間：2013-1-22
塵埃粒子計(jì)數(shù)器工作原理
塵埃粒子計(jì)數(shù)器工作原理
光散亂式粒子計(jì)數(shù)器（采用激光或白光光源）
光散亂式粒子計(jì)數(shù)器（采用激光或白光光源）
主要是求出浮游在超凈間等清潔空間中浮游粒子的每個(gè)單位體積的個(gè)數(shù)濃度。從得到的數(shù)據(jù)里可以得出其測(cè)試范圍（粒徑通道）的個(gè)數(shù)。
首先粒子計(jì)數(shù)儀由內(nèi)部吸氣泵或外部采樣泵以一定的比例進(jìn)行氣體（一般的超凈間為室內(nèi)空氣）采樣。當(dāng)采樣氣體中的粒子通過光源（激光）等收束的光束時(shí)，產(chǎn)生光散亂現(xiàn)象。光散亂通過光電變換器變?yōu)殡娦盘?hào)（脈沖），粒子越大得出該脈沖信號(hào)就越大（波峰值），通過此時(shí)的波峰值和脈沖數(shù)就可得出每個(gè)粒徑的個(gè)數(shù)濃度。即通過測(cè)試散亂光的數(shù)量和強(qiáng)度，得出實(shí)時(shí)測(cè)試數(shù)據(jù)。
凝聚核法粒子計(jì)數(shù)儀（CNC）工作原理
普通光散亂式粒子計(jì)數(shù)儀無法檢測(cè)到超凈間內(nèi)漂浮的0.1um以下的超微粒子。只能采取凝聚核法進(jìn)行測(cè)試。采用高溫酒精蒸汽與被測(cè)空氣混合達(dá)到過飽和狀態(tài)。超微粒子在過飽和酒精蒸汽氛圍中成為凝聚核，粒子徑增大后即可檢測(cè)出來。
CNC具有較高的采樣效率，因而可以在短時(shí)間內(nèi)率的檢測(cè)到超凈間內(nèi)的粒子濃度。
2、粒子計(jì)數(shù)儀的分類
A、按測(cè)試原理分
- 光散亂法測(cè)試（白光、激光）
- 顯微鏡法測(cè)試
- 稱重法測(cè)試
- DMA法測(cè)試（粒徑分析儀）
- 慣性法測(cè)試
- 擴(kuò)散法測(cè)試
- 凝聚核法測(cè)試（CNC）等
B、按流量分
- 小流量 0.1cfm（2.83L/min）
- 大流量 1cfm（28.3L/min）
C、按形狀、體積大小分
- 手持式
- 臺(tái)式
D、按測(cè)試通道分
- 單通道（只測(cè)某一種粒子徑）
- 雙通道（測(cè)試某兩種粒子徑）
- 多通道（測(cè)試多種粒子徑）