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SMC传感器的静态特性是什么?

阅读:301        发布时间:2021-7-15

SMC传感器的静态特性是什么?

SMC传感器的静态特性:

1、线性度:指输出量与输入量之间的实际关系曲线偏离拟合直线的程度。定义为在全量程范围内实际特性曲线与拟合直线之间的偏差值与满量程输出值之比。

2、灵敏度:静态特性的一个重要指标。其定义为输出量的增量与引起该增量的相应输入量增量之比。用S表示灵敏度。

3、迟滞:在输入量由小到大(正行程)及输入量由大到小(反行程)变化期间其输入输出特性曲线不重合的现象成为迟滞。对于同一大小的输入信号,SMC传感器的正反行程输出信号大小不相等,这个差值称为迟滞差值。

4、重复性:重复性是指在输入量按同一方向作全量程连续多次变化时,所得特性曲线不一致的程度。

5、漂移:漂移是指在输入量不变的情况下,传感器输出量随着时间变化,此现象称为漂移。产生漂移的原因有两个方面:一是传感器自身结构参数;二是周围环境(如温度、湿度等)。

6、分辨力:当输入从非零值缓慢增加时,在超过某一增量后输出发生可观测的变化,这个输入增量称SMC传感器的分辨力,即输入增量。

SMC传感器是工业实践、仪器仪表控制中较为常用的一种传感器,并广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、生产自控、航空航天、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多。是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。压阻式传感器常用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制。

SMC传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般设计成周边固支的圆形,直径与厚度比约为20~60。在圆形硅膜片(N型)定域扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥,其中两条位于压应力区,另两条处于拉应力区,相对于膜片对称。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条,两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥。

SMC传感器由于技术特性优良、体积小、结构紧凑,广泛应用于工程机械等工业域。一般的传感器的精度明显随测量介质的温度而变化,而SMC传感器在此方面具有优良的特征。它的静态特性是指对静态的输入信号,传感器的输出量与输入量之间所具有相互关系。因为这时输入量和输出量都和时间无关,所以它们之间的关系,即传感器的静态特性可用一个不含时间变量的代数方程,或以输入量作横坐标,把与其对应的输出量作纵坐标而画出的特性曲线来描述。

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