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等離子清洗機(jī)去除半導(dǎo)體材料污染物

時間:2023/2/16閱讀:216
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等離子清洗機(jī)能對各種高分子,橡膠,金屬,PCB電路板等材料進(jìn)行表面處理。光通信器件鍵合封裝前采用等離子體清洗機(jī)能增強(qiáng)推拉力強(qiáng)度

等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)等。通過等離子清洗機(jī)的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時去除有機(jī)污染物、油污或油脂。離子清洗機(jī)能移除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件等表面的光阻物質(zhì),去除金屬材料表面的氧化物。例如玻璃光學(xué)鏡片通過借助等離子清洗機(jī)表面處理技術(shù),利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù),在一定的真空負(fù)壓狀態(tài)下,以電能將氣體轉(zhuǎn)變成活性高的氣體等離子體,氣體等離子能輕柔地沖刷固體樣品表面,引起分子結(jié)構(gòu)的改變,從而達(dá)到對樣品表面有機(jī)污染物進(jìn)行超清洗,從而在極短的時間內(nèi)實現(xiàn)超清洗,從而達(dá)到對樣品表面有機(jī)污染物的超清洗。在一定條件下,樣品的表面性質(zhì)也會發(fā)生變化。

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等離子清洗機(jī)的作用

還原氧化層:等離子清洗機(jī)有效改善親水性,移除光學(xué)元件等表面光阻物質(zhì),去除金屬材料表面氧化物

表面粗糙度:等離子清洗機(jī)有效提高推拉力,用等離子清洗機(jī)清洗生物芯片、微流控芯片、沉積凝膠基片、高分子材料表面的修飾及改性。

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等離子清洗機(jī)能將半導(dǎo)體材料表面有機(jī)污染物去除和表面活性增強(qiáng),去除顆粒物:等離子清洗機(jī)有效提高附著力,涂覆鍍膜領(lǐng)域中采用等離了清洗機(jī)對玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面改性,使其活化,增強(qiáng)表面粘增強(qiáng)表面粘附性、浸潤性、相容性,顯著提高涂覆鍍膜質(zhì)量





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