产品展示

瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KEAF-0001

公司名称：
更新时间：
所在地：
生产地址：
浏览次数：

上海茂硕机械设备有限公司
2025-07-17 11:55:11
上海市
德国
1653

具体成交价以合同协议为准

【简单介绍】

应用领域	化工,能源,汽车及零部件,电气,综合

瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KEAF-0001
产品基本信息
型号：61332-KEAF-0001

品牌：VAT Group（瑞士，真空阀领域）

类型：高真空蝶形控制阀（气动驱动，金属密封）

【详细说明】

瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KEAF-0001

1. 核心参数概览

参数类别	详细规格
型号	61332-KEAF-0001
类型	气动驱动高真空蝶形控制阀（金属密封）
真空范围	工作压力：10?? mbar 至大气压（兼容超高真空/XHV）
漏率	<1×10?? mbar·l/s（金属密封版）
温度范围	-20°C 至 +150°C（标准）/ 可选高温版至 +250°C（金属密封）
阀体材质	316L不锈钢（电解抛光，表面粗糙度 Ra ≤ 0.8 μm）
密封材质	标准：全金属密封（无弹性体）可选：氟橡胶（FKM，适用于非等离子体环境）
驱动方式	气动执行（单作用弹簧复位/双作用）响应时间：<100 ms（全开至全关）
法兰标准	ISO-KF、CF 或定制法兰（SEMI标准兼容）
控制信号	可?。?-20mA模拟量反馈、数字信号（RS485）

2. 机械与结构设计

阀体与密封系统

蝶板设计：

采用低惯量钛合金蝶板，减少颗粒生成，适合洁净环境（符合SEMI F47标准）。
动态平衡结构，降低气流扰动对晶圆工艺的影响。

密封技术：

金属密封：金包覆不锈钢密封圈，耐高温烘烤（≤150°C持续），抗等离子体腐蚀。
弹性体密封（可?。篎KM材质，适用于非腐蚀性气体环境（漏率略高，约10?? mbar·l/s）。

执行机构

气动模块：

标配气压范围：4-6 bar（干燥空气或氮气驱动）。
可选防爆设计（ATEX认证）。

位置反馈：

高精度电位器或霍尔传感器，实时监控阀门开度（精度±0.5%）。

3. 性能曲线与关键指标

流量特性

Cv值：0.8（全开时，介质为空气）。
流量调节比：100:1（线性控制区间）。

真空保持能力

真空级别	漏率要求	61332-KEAF-0001实测数据
高真空（HV）	<10?? mbar·l/s	<5×10?? mbar·l/s
超高真空（XHV）	<10?? mbar·l/s	<1×10?? mbar·l/s（金属密封）

4. 半导体行业应用详解

典型设备集成

工艺设备	功能角色	配套型号要求
刻蚀机（Etch）	腐蚀性气体隔离（Cl?/HBr）	金属密封+等离子体防护涂层
ALD/CVD	前驱体气体精准控制	快速响应（<50 ms）+高线性度
离子注入机	束线真空隔离	超高真空密封（XHV级）
晶圆传输模块	Loadlock快速抽真空	大口径（可选VAT 48系列配合）

兼容性数据

气体介质：

兼容腐蚀性气体（WF?、NH?、SiH?等），需指定镀层（如PTFE或Al?O?）。

颗?？刂?/span>：

符合ISO 14644-1 Class 4洁净度要求（每立方米≤3520颗粒，粒径≥0.5 μm）。

5. 安装与维护指南

安装要点

法兰对接：

使用无应力安装工具，避免阀体变形（扭矩限制：≤10 Nm）。

气路连接：

气源需配备0.1 μm过滤器，防止颗粒污染。

维护周期

常规检查：

每3个月检查密封面磨损（金属密封寿命约10?次循环）。

深度维护：

每2年或50万次循环后更换密封圈（原厂维修包编号：VAT-MK-61332）。
优势供应：

商品编号61338-PEAE-0001

商品编号61348-PECN-0001

商品编号61340-PECE-0001

商品编号61344-PAAX-0001

商品编号61344-PEAX-0001

商品编号 61350-PAAK-0001

商品编号61338-PAAN-0001

商品编号61348-PAAQ-0001

61336-PACX-0001

61336-PACE-0001

61348-PEAQ-0001

61340-PECX-0001

61340-PACF-0001

61350-PAGQ-0001

61344-PACQ-0001

瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KEAF-0001


留言框
感兴趣的产品：	*
留言内容：
您的姓名：	*
您的单位：
联系电话：	*
微信：
常用邮箱：
详细地址：
省份：	*
验证码：	* = 请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7

瑞士VAT

全部产品列表

联系方式

上海茂硕机械设备有限公司

地址：上海市长宁区延安中路188号2902室
邮编：
联系人：潘工
电话：15214375780
传真：
手机：15214375780
留言：发送留言
个性化：www.yzshblm88.com
网址：www.yzshblm88.com/
商铺：http://www.mtfinger.com/st244587/

上海茂硕机械设备有限公司

MURR继电器德国进口,BIERI液压元件现货

15214375780

瑞士VAT高真空蝶形控制阀61332-KEAF-0001

1. 核心参数概览

2. 机械与结构设计

阀体与密封系统

执行机构

3. 性能曲线与关键指标

流量特性

真空保持能力

4. 半导体行业应用详解

典型设备集成

兼容性数据

5. 安装与维护指南

安装要点

维护周期

相关产品