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在醫藥、微電子、食品、精密機械等行業中,需要嚴格控制潔凈室的潔凈度級別以滿足相關標準和產品質量的要求。包括對各種潔凈的工作臺、潔凈間的凈化效果、潔凈度級別進行監控與檢測。
確認是否滿足潔凈度等級,必須使用塵埃粒子計數器。
ISO14464-1:
空氣潔凈度等級(N) | 大濃度限值(每立方米空氣粒子) (大于等于所標粒徑的粒子) | |||||
0.1 um | 0.2 um | 0.3 um | 0.5um | 1um | 5 um | |
ISO Class 1 | 10 | 2 | ||||
ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Class 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Class 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
ISO Class 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
ISO Class 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
ISO Class 7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
ISO Class 8 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
ISO Class 9 | 35200000 | 8320000 | 293000 |
新版GMP
潔凈度級別 | 懸浮粒子大允許數/立方米 | |||
靜態 | 動態(3) | |||
≥0.5μm | ≥5.0μm(2) | ≥0.5μm | ≥5.0μm | |
*(1) | 3520 | 20 | 3520 | 20 |
B級 | 3520 | 29 | 352000 | 2900 |
C級 | 352000 | 2900 | 3520000 | 29000 |
D級 | 3520000 | 29000 | 不作規定 | 不作規定 |
塵埃粒子計數器的核心部件是光學系統及動力采樣系統。由內部真空泵或外部采樣泵以一定流量進行氣體采樣。當采樣氣體中的塵埃粒子通過激光光源等發生的光束時會發生光散亂現象,再通過光電變換器將光信號轉變為脈沖信號,不同粒徑的塵埃粒子產生的脈沖信號也不同,粒徑越大得出該脈沖信號就越強,粒徑越小產生的脈沖信號就越弱。通過統計單位時間內(采樣時間≥1min)產生的不同脈沖信號的數量,即可得知不同粒徑的塵埃粒子個數。
加野KANOMAX憑借多年的經驗,研發、制造的激光塵埃粒子計數器:手持式2.83L小流量激光塵埃粒子計數器MODEL 3888/3889、3887Ser、便攜式28.3L/50L激光塵埃粒子計數器MODEL 3905/3910,在微電子、生物制藥、食品衛生、空調凈化、科研院所等眾多測試領域得到廣泛應用。
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