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1、真空鍍膜過程中會(huì)使用油擴(kuò)散泵進(jìn)行抽氣，其過程中需要用循環(huán)水冷卻系統(tǒng)進(jìn)行冷卻油蒸汽，為了防止返流的油蒸汽分子跑到鐘罩內(nèi)造成污染，同時(shí)也為了防止由于忘記開循環(huán)水冷卻系統(tǒng)而造成的麻煩，所以我們提早打開。

2、真空泵在工作期間，油溫不可以超過75攝氏度，需要循環(huán)水冷卻系統(tǒng)對(duì)其降濕，否則會(huì)由于油的黏度過小而導(dǎo)致密封不嚴(yán)。

3、循環(huán)水系統(tǒng)必須恒溫，恒壓，恒流，從需保證真空腔及真空泵的溫度要求。