目錄:鄭州君達(dá)儀器儀表有限公司>>氣體檢測儀>>半導(dǎo)體材料氣體>> XPS-7便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測器
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池 |
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便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測器XPS-7
檢測對象
毒氣/半導(dǎo)體材料氣體
檢測范圍
根據(jù)規(guī)格而定
檢測原理
定電位電解式
檢測方式
自動吸引式
應(yīng)用行業(yè)
石油化工、半導(dǎo)體制造
01.便攜式氣體檢測器產(chǎn)品特點(diǎn)
只需要更換傳感器單元就可以檢測各種對象氣體
用盒式傳感器單元無需進(jìn)行氣體檢測器校正
可以大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間
02.便攜式氣體檢測器產(chǎn)品用途
半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等
在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場進(jìn)行泄漏檢測
03.對象氣體
04.便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測器XPS-7產(chǎn)品參數(shù)
在半導(dǎo)體工藝制程中，需要使用多種特殊氣體、大量的酸、堿等化學(xué)品以及有機(jī)溶劑和揮發(fā)性液體，這些氣體和化學(xué)品在半導(dǎo)體制造的不同工藝中使用會產(chǎn)生廢氣。半導(dǎo)體企業(yè)廢氣一般分為酸性排氣、堿性排氣、有機(jī)廢氣、砷排和一般排氣等。
半導(dǎo)體行業(yè)廢氣主要為有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。有機(jī)類有：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿類有：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。在半導(dǎo)體行業(yè)中造成環(huán)境污染的有害氣體，主要來源于芯片或者是線路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。
半導(dǎo)體行業(yè)主要是元器件組裝焊接過程中對大氣的污染和電路板等器件清洗等表面處理過程中因使用一些化學(xué)藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機(jī)鹵化物）揮發(fā)造成對大氣環(huán)境的污染，以及整機(jī)裝配過程中產(chǎn)生的機(jī)械噪聲和少量粉塵也會造成環(huán)境污染，這些污染氣體會造成人群慢性或急性中毒。
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