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2022/04/12
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技术参数
1.加热元件：进口KTL电阻丝。
2.加热区数量：5-8区(可根据需求定制)，实现一个温曲两点控制，使温场更均匀。
3.升华区温度：室温至800℃，连续可调。
保温区温度：室温至400℃可调;恒温温度随时间和空间波动不大于±1℃(测试方法符合国家计量标准JJF 1184-2007)。
4.升华舟容积：0.5～10克，50～500克，500～2000克。
5.控温方式：人机界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制。
6.无纸记录：内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口，可以电脑连接一键拷贝数据。
7.结构描述：①设备可电动对半开启，自动控制冷却降温系统.实现可控冷却速度.
?、谠诮隙伺浔?路高精度质量流量计系统，准确控制气体流量，可以实现生产工艺拓展和调整。
?、巯低巢捎米远ひ樟鞒?，设定好工艺一键操作,降低人为因素，工艺可靠性可达到99.9%。
8.过滤方式：系统采用三级过滤?；ぷ爸?，分别采用5级微孔金属滤网、2套液氮内嵌式冷凝、90度直角台阶式过滤。
9.外管尺寸Φ210X2000mm，腔体采用三层石英管装置，可以自动进出料，结构可保证真空室管不受污染，保持较高的真空度。中层管取料方便，易于清洗，内层料管分段升华后各段料容易区分，能最大限度的保证产品和纯度和产率(最大升华率97%，与材料和配置有关)。
10.腔体采用内控温和外控温相互切换，防止石英折射和散射造成的温场不均匀现象。
11.设备的正面端面都采用石英密封观察窗，可以*观察生产中材料的提纯情况，配上摄像系统可实现生产升华过程全监控和记录。
12.抽真空端采用了主管直径200mm的分子泵直连，确保实验中高真空的需求，在直径200mm直管中间加插板阀，插板阀的两端加直径3mm细管多孔旁抽支路，防止在初真空时抽速太大影响分子扩散的方向，导致材料不均匀。
13.前级机械泵 60m3/h,分子泵抽速160L/S。
本底真空：机械泵系统：1Pa 分子泵系统10-4Pa。
多种异形内管可以选购
