Fastmicro 仪器表面颗粒物分析仪（SAS）

Fastmicro 仪器表面颗粒物分析仪，是一款基于“胶带粘取"采样技术的表面污染检测工具，可通过间接测量方式识别小至 0.5um 的颗粒污染物。其配备的专用 PMC 采样卡能在各类表面（包括难以触及区域和高粗糙度表面）实现灵活采样，且不会残留可检测的痕迹。该设备可在数秒内完成 225 mm2 采样区域的分析，确保快速获得精准检测结果。搭配 2 英寸晶圆支架，也可对沉降颗粒进行检测，满足跨行业复杂场景的检测需求。

产品特点

• 符合 ISO 14644-9 标准：在用户界面生成具有认证的 PDF 报告

• 检测范围：可检测低至 0.5 um 颗粒

• 稳定：90% 采集效率 | >90% 重复性

• 快速：10 秒完成检测

数秒内完成表面清洁度测量

快速: 成像仅需数秒

定量: 可溯源的定量化结果

操作简便: 操作结果不受操作人员影响

• 用于产线质量管控的即时判定

• 用于研发人员的进一步数据分析

• 用于监测、快速验证和统计过程控制

精准: 高分辨率测量（数量、位置、尺寸）

稳定: 多次测量结果高重复性

高通量: 即时给出合格/不合格结果

仪器表面颗粒物分析仪（SAS）

该系该仪器通过采样器间接测量表面颗粒污染水平。使用采样器方便 用户随时在各种产品和组件上采集颗粒污染样本。

使用采样器进行间接测量

使用采样器甚至能对难以触及的地方以及相对粗糙的表面进行可 靠测量。采样器（来自经过认证的供应商）不会造成交叉污染。

分析仪能在数秒内完成对采样器的检测，这使测试工作流程可控制 在一分钟以内。采样器可放在采样器支架中运输、重新测量和进一 步分析。

具有多种采样器选择，包括用于间接检测的粘取采样器（含支架）和 用于落尘检测的2英寸晶圆套件。

这种适应性使其适用于跨多个行 业的不同测试场景，能提供可靠测量数据并深入洞察污染水平。