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超真空干燥箱（極限真空≤10?? mbar）的真空泵配置需滿足以下核心要求：

一、真空泵選型組合要求

?1.多級泵組合?

必須采用?羅茨泵+旋片式油泵?串聯(lián)方案：

羅茨泵負(fù)責(zé)快速抽取大流量氣體（抽速≥100L/s），作為主增壓單元?。

旋片油泵作為前級泵提供基礎(chǔ)真空（極限真空≤10?3 mbar），支撐羅茨泵高效運(yùn)行?。

2.?防污染設(shè)計(jì)?

若處理腐蝕性/揮發(fā)性樣品（如酸霧、有機(jī)溶劑），需選用?全PTFE涂層泵體?的防腐蝕機(jī)型，避免閥片腐蝕失效。

非腐蝕性場景可配置常規(guī)旋片泵，但需加裝?冷阱或過濾裝置?防止油蒸氣回流污染樣品。

二、關(guān)鍵性能參數(shù)

1.極限真空；≤10?? mbar；需羅茨泵組實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境?。

?2.抽氣速率?；≥100L/s（羅茨泵）；容積>100L時(shí)需更高抽速。

?3.溫度兼容性?；5℃~40℃運(yùn)行環(huán)境；避免低溫結(jié)冰或高溫宕機(jī)。

三、安裝與操作規(guī)范

?1.連接流程?

超真空干燥箱→真空橡膠管→?羅茨泵進(jìn)氣口?→羅茨泵排氣口→?旋片泵進(jìn)氣口?，確保全管路密閉?。

2.?防倒吸措施?

停機(jī)時(shí)?先關(guān)真空閥?→?再關(guān)羅茨泵?→?最后關(guān)旋片泵?，防止泵油倒灌?。

箱內(nèi)需加裝?隔阻網(wǎng)?，避免粉末樣品吸入泵體?。

?3.維護(hù)要求?

旋片泵需定期?更換專用真空泵油?（建議500小時(shí)/次）?。

長期停用需排空泵油并清洗油路。

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