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GCIB 10S离子束
GCIB 10S是一种高性能10千伏气体团簇离子束,用于快速、低损伤溅射和更高质量的表面分析。
GCIB 10S提供了大量有用的功能,包括实时集群大小测量和内置样本电流成像系统,以帮助您充分利用实验。
GCIB 10S具有完整的泵送系统和独立软件,是一种栓接式升级,将集束束溅射的力量引入现有的真空仪器,如
XPS、SEM和SIMS。
Applications
GCIB 10S可去除不定碳和其他表面污染,而不会损坏基材,同时还可对有机物和聚合物等软材料进行无损伤深度剖析。
下图显示了分别使用Arl和Ar2000蚀刻原始PET表面前后的C1s峰值。数据清楚地显示了单原子Arl束(红色)造成的化学损
伤,而光谱在暴露于Ar2000束(蓝色)后几乎保持不变。
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