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详细介绍
半导体扩散炉恒温槽主要特点：
◆采用高精度动态恒温控制技术和SMT装配技术，*恒温波动度达±0.05℃，专门为半导体扩散炉配套。
◆提供单个源瓶、两个源瓶、和四个源瓶的结构形式，适合不同的应用需求。
◆将源瓶与水介质*隔离的铁氟龙隔离套，将任何泄漏事故引起的危险降低到zui低程度。
◆半导体扩散炉恒温槽采用全封闭磁力泵循环搅拌，温场均匀，*泄漏。通过将传感器与循环泵液流的一体化设计，大大提高控温精度和温场均匀性。
◆液槽内胆、瓶源隔离套、电热器和蒸发器等可能与工作介质接触的部件采用不锈钢材料，其中瓶源隔离套内壁经铁氟龙处理，专门解决扩散炉应用问题。
型号 | Kszy-S12 Kszy -S16 | Kszy-D10 Kszy-D12 Kszy-D16 | Kszy -T10 Kszy -T12 | |
温度范围 | ℃ | +5~60（环境温度≤40℃）、+15~+40（环境温度≤60℃） | ||
温度波动度 | ±K | ±0.05~0.1（环境温度≤40℃）、±0.1~0.2（环境温度≤60℃） | ||
显示分辨率 | ℃ | 0.1 | ||
加热功率 | W | 600 | 600 | 600/1000 |
制冷量 | W | 250 | 300 | 350 |
内胆尺寸 | mm | 240*145D*220H（-S12） 235*160D*250H（-S16） | 240W*120D*195H（-D10） 240W*145D*220H（-D12） 335W*160D*250H（-D16） | 240W*240D*195H（-Q10） 240W*285D*220H（-Q12） |
源瓶尺寸 | mm | 100D*148H（-X10） 120D*168H（-X12） 160D*198H（-X16） | ||
源瓶隔离套 | 1个/不锈钢,内壁防腐处理 | 2个/不锈钢,内壁防腐处理 | 4个/不锈钢,内壁防腐处理 | |
外形尺寸 | mm | 300W*475D*300H（-S12） 300W*475D*320H（-S16） | 300W*450D*275H（-D10） 345W*475D*300H（-D12） 375W*475D*320H（-D16） | 375W*570D*300H（-Q10） 345W*615D*300H（-Q12） |
压缩机 | W | 150 | ||
制冷剂 | R134 a | |||
内胆材料 | 304不锈钢，提供316L不锈钢或钛材的定制 | |||
外壳材料 | 优质冷轧钢板静电喷涂 | |||
工作方式 | 连续 | |||
辅助功能 | 数显温度校正，传感器异常?；ず捅ň?，高温保护和低温报警，停电恢复，防干烧 | |||
电源 | 220V/50Hz | |||
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