在半导体制造领域，化学机械平坦化（CMP）是生产高质量晶圆的关键工艺，而CMP机器垫抛光则是这一工艺的核心环节。其目标是通过精确去除多余材料，为晶圆打造出高镜面光洁度的光滑表面，以满足硬盘等组件对存储和检索信息的高精度要求。在这一复杂且成本高昂的生产过程中，力的精确控制至关重要，而Proportion-Air的比例阀凭借其优秀性能，成为保障CMP机器垫抛光质量的关键因素。
在CMP机器垫抛光过程中，不同类型的垫片需在晶圆上施加一致且可重复的力，才能创建出符合规格的表面。若垫片不平整或力控制不精准，抛光后的晶圆将无法达标，导致巨大的经济损失。Proportion-Air的QPV2电子控制阀在这一环节发挥了核心作用。它采用低摩擦或无摩擦的气缸实现力的精确控制，通过负载传感器进行实时反馈。其满量程±0.005%的超高分辨率，能够敏锐捕捉力的微小变化，并迅速做出调整，确保力的施加始终精准无误。同时，满量程±0.02%的高重复性，保证了在相同命令信号下，每次产生的力都一致，为晶圆抛光提供了可靠的力控制保障。
实时监测，确保稳定运行
为了确保CMP机器垫抛光过程的稳定性和可靠性，持续的数据采集和监测必bi不可少。QPV2电子控制阀从下游压力输出的模拟监测信号可在主电气连接器上轻松获取，这一设计使得操作人员能够实时监测气缸上的压力变化，及时发现潜在问题并进行调整。无论是在正常运行过程中进行状态监控，还是在出现故障时进行诊断分析，这些实时数据都为维护设备稳定运行提供了有力支持，有效避免了因设备故障导致的生产中断和质量问题。
灵活适配，满足多样需求
除了QPV2电子控制阀，Proportion-Air的QB2比例阀在CMP机器垫抛光应用中也具有特别优势。当不需要QPV2那样极ji高的分辨率性能时，QB2比例阀成为了一个经济可行的解决方案。它同样具备收集和发送模拟输出回到PLC或控制器进行数据采集的功能，能够满足不同生产场景下的监测需求。这种灵活的产品选择，使得半导体制造商可以根据实际生产要求，在保证抛光质量的前提下，合理控制成本，提高生产效益。
QPV系列，优秀性能保障
QPV超高分辨率电控气动闭式比例压力控制阀作为Proportion-Air的明星产品，在CMP机器垫抛光应用中展现出了优秀的性能。其最zui低可校准至0 - 2英寸水柱，能够满足对微小压力控制的严格要求，适用于低压力泄漏测试、点胶和微流体流量控制等敏感应用场景，在CMP工艺中也能轻松应对各种复杂的压力控制需求。该阀采用可变孔径阀设计，消除了传统ON/OFF电磁阀的数字级差，实现了压力的平滑连续调节，进一步提高了力控制的精度和稳定性。
此外，QPV系列压力调节器具有出色的技术规格。其压力范围覆盖真空通过150磅每平方英寸（10.3巴），能够适应不同的工作压力环境；准确性达到±0.2%全量程，确保压力控制的精准度；最大流基于进气阀孔尺寸，可满足不同流量需求；端口大小提供1/8″ NPT（可选BSPP），方便与各种设备连接；耐用性方面，抗冲击和振动（高达25 Gs），能够在恶劣的工业环境中稳定运行；工作温度范围为32 - 158°F (0 - 70°C)，适应不同的工作环境温度；过滤精度为40微米，有效?；し拍诓苛慵?，延长使用寿命。而且，和Proportion-Air大多数产品一样，QPV可以根据苛刻的应用需求进行多种方式改装，为半导体制造商提供了高度定制化的解决方案。
Proportion-Air的比例阀凭借其精确的力控制、实时监测功能、灵活的产品适配性以及优秀的性能规格，在CMP机器垫抛光应用中发挥着不可替代的作用。它为半导体制造商提供了可靠的技术支持，助力生产出高质量的晶圆，推动半导体行业不断向前发展。如有需求， 欢迎咨询天津联科思创科技发展有限公司。
4
立即询价
您提交后，专属客服将第一时间为您服务