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T/FJAS 001-2024 濕電子化學(xué)品 再生丙二醇甲醚醋酸酯

范圍
本文件規(guī)定了再生丙二醇甲醚醋酸酯的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運輸和貯存。
本文件適用于以濕電子化學(xué)品行業(yè)含丙二醇甲醚醋酸酯回收液為原料，經(jīng)過提純的丙二醇甲醚醋酸酯再生產(chǎn)品(以下簡稱產(chǎn)品)，主要用于顯示面板制造行業(yè)等。

術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于本文件。
濕電子化學(xué)品  wet chemicals
濕電子化學(xué)品又稱超凈高純電子化學(xué)品，是微電子、光電子濕法工藝(主要包括濕法刻蝕、清洗、顯影、剝離等環(huán)節(jié))中使用的各種液體化工材料。
丙二醇甲醚醋酸酯  1-methoxy-2-propyl acetate
丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)，分子式為C₆H₁₂O₃。在液晶顯示器制造行業(yè)，用于ARRAY和CF工段清洗稀釋等。
回收液  Iiquid recycIing
主要含有PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯)、酮類化合物、苯類化合物、乙氧基酯類化合物、甲氧基酯類化合物等雜質(zhì)。

技術(shù)要求
產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的要求。


試驗方法
水分的測定
按 GB/T 6283 的規(guī)定進(jìn)行測定。
GB/T 6283-2008 化工產(chǎn)品中水分含量的測定 卡爾·費休法(通用方法)


京都電子KEM 直接電量滴定法卡爾費休水分儀 MKV-710S