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薄膜測(cè)量?jī)x器

光譜橢偏儀

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紅外光譜橢偏儀SENDIRA利用紅外光譜中分子振動(dòng)模的吸收帶，可以分析薄膜的組成。此外，載流子濃度可以用傅立葉紅外光譜儀FTIR測(cè)量。
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