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光譜學(xué)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用2

時(shí)間:2022-6-17 閱讀:304
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隨著激光在半導(dǎo)體、工業(yè)加工和醫(yī)療等領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛,方便快捷的測(cè)量激光器波長(zhǎng)已經(jīng)成為一種迫切的需求。目前測(cè)量激光波長(zhǎng)參數(shù)的儀器大致分為三類,一類是波長(zhǎng)計(jì),功能簡(jiǎn)單,操作方便,精度也比較高,但是一般只能讀出波長(zhǎng)數(shù)據(jù),當(dāng)激光器是多波長(zhǎng)或者光譜較寬時(shí),測(cè)量有可能不準(zhǔn)確;一類是掃描F-P腔,主要是研究激光器的光譜形狀,一般不給出波長(zhǎng)的絕對(duì)數(shù)值;還有一類就是光譜儀,通過光譜儀,我們可以方便地監(jiān)測(cè)激光的波長(zhǎng)、幅值、半寬值(FWHM)、波峰數(shù)目等參數(shù)隨時(shí)間變化的情況。


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