高純氣體(High Purity Gases)氣體工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.199%即可稱高純氧；對于碳?xì)浠衔?，純度?9199%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮，氫，氬，氦可作為運(yùn)載氣，保護(hù)氣和配制混合氣的底氣。 　　
       高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體和無機(jī)高純氣體。
有機(jī)高純氣體：
1、烷烴類：
　　甲烷(CH4)、乙烷(C2H6)、丙烷(C3H8)、環(huán)丙烷(cyc-C3H6)、正丁烷(n-C4H10)、異丁烷(i-C4H10)、正戊烷(n-C5H12)、新戊烷(neo-C5H12)、氯甲烷(CH3Cl)、氯乙烷(C2H5Cl)、三氟甲烷(CHF3)、環(huán)氧乙烷(C2H4O)、砷烷(AsH3)、磷烷(PH3)、硼烷(B2H6)、硅烷(SiH4)等；
2、烯烴類：
　　乙烯(C2H4)、丙烯(C3H6)、丙二烯(C3H4==)、1-丁烯(1-C4H8)、異丁烯(i-C4H8)、反-2-丁烯(t-2-C4H8)、順-2-丁烯(c-2-C4H8)、1.2-丁二烯(1.2-C4H6)、1.3-丁二烯(1.3-C4H6)、氯乙烯(C2H3Cl)等；
3、炔烴類：
　　乙炔(C2H2)、1-丁炔(1-C4H6)、2-丁炔(2-C4H6)、甲基乙炔(C3H4)、乙烯基乙炔(C4H4=≡)等；
4、其他：
　　二甲醚(C2H6O)、甲硫醇(CH4S)、熏蒸劑(C2H4O-CO2)等
無機(jī)高純氣體：
1、空氣(Air)、氫氣(H2)、氧氣(O2)、氮?dú)?N2)、氬氣(Ar)、氦氣(He)、氖氣(Ne)、氪氣(Kr)、氙氣(Xe)等； 　　
2、氨氣(NH3)、氯氣(Cl2)、二氧化硫(SO2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、二氧化氮(NO2)、氧化亞氮(N2O)、氧硫化碳(COS)、氯化氫(HCl)、溴化氫(HBr)、硫化氫(H2S)等； 　　
3、三氟化硼(BF3)、三氯化硼(BCl3)、四氟化碳(CF4)、四氟化硅(SiF4)、　四氯化硅(SiCl4)、六氟化硫(SF6)等

常見高純氣體的用途：
環(huán)氧乙烷可用作生產(chǎn)增塑劑、潤滑劑等； 　　
氯甲烷是重要的甲基化劑，還可作致冷劑、發(fā)泡劑等； 　　
氯乙烷可用作煙霧劑、冷凍劑、汽油抗震劑、局部麻醉劑； 　　
二甲醚可作噴氣推進(jìn)劑、制冷劑、麻醉劑；甲硫醇用于合成染料、醫(yī)藥、農(nóng)藥； 　　
乙炔可直接用于金屬切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作為氯丁橡膠原料等.