徕卡显微镜—近代干涉测试技术

徕卡显微镜干涉原理在测试技术上的应用是大量的，其中有些已是我们所熟知的，本节介绍几种近代光学测试领域里主要的双光束干涉仪。阐明其光学系统原理及测试方法。

一、泰曼一格林干涉仪测试

泰曼一格林干涉仪实质上是迈克尔逊干涉仪的一种变型，在近代的光学检验领域里，它是一种很重要的仪器，如图1—16所示。它的独持的物理性质是：准单色点光源和透镜Ll提供射的平面波（平行光束），干涉仪的一臂装有参考反射镜肘i，另一臂则装上被测试的光学元件透镜Lz使得全部通过孔径的光都能进入位于12焦点处的观察孔，所以能看到整个视场，即闭看到射I和肘z的任何一部分*干涉条纹可用目视观察或用照相机（镜头应位于Lz的焦点处）躯干涉条纹拍摄下来进行分析。根据干涉条纹的变化，就可判断被测光学元件的质量。连续输d的氛一氖气体激光器是一个很好的光源。输出功率为1mw的氦一氖气体激光器，就足以在窒个干涉场上产生明亮而清晰的干涉条纹。激光器高度的时间相干性，使泰曼干涉仪进行大光琶差的测试成为可能，它不仅能适应各种静态测试的要求，也能适应大位移的动态测量。激光劳纹的高亮度，还能缩短对条纹照相的曝光时间，因而能减少不希望有的振动效应。使用激光氢的泰曼一格林干涉仪是光学检测中zui有效的工具之一。固1—16中所示的仪器是检验透镜的丢曼一格林干涉仪，其中球面镜肘：的曲率中心相被测透镜的焦点重合。如果待测透镜没有便差，那么，返回到分束器的反射波将仍是平面的。然而，如果被测透镜有球差、望差或像散引定波阵面的变形，那么就会清楚地看到具有畸变的一幅干涉条纹图，并且可把干涉条纹拍摄下习进行分析。若把6fz换成平面镜，就可以检验许多别的光学元件．如梭镜，光学平板等。在对这些条纹图进行解释之后，光学检验人员就可据此指导进一步的加工（修光圈）。在制造非常精密9光学系统，望运镜，高空照相机等的时候，还可采用电子学方法来扫描干涉固，zui后的数据用食算机分析。计算机控制的描图仪自动画出表面的等高线图，或者画出被测元件产生畸变波阵目的三维透视图。整个加工过程都可用这些力法来保证得到高质量的光学元件和光学系统。

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