金相显微镜--扫描电镜的基本原理

金相显微镜--扫描电镜是六十年代发展起来的一种精密电子学仪器。利用它可以观察块状样品的表面形态，从而得出有关样品立体结构的概念。扫描电镜的工作原理可以借助于图3—1来说明。它由三部分构成：（一）电子光学系统，包括电子枪，磁透镜相扫描线圈等。它能产生符合一定要求的电子束，（二）样品室，这是电子束与样品相互作用的场所。为便于获取作用后生成的各种信号，样品室的体积容量较大。（三）信号的收集、处理和显示系统。

金相显微镜--扫描电镜中的细电子束在样品表面作出光栅状扫描，即从左上方扫向4J上方，扫完一行再扫其下相邻的第二行，直至扫完一幅（或帧）。如此反复运动。这冲作扫描运动的电子束，在样品内的一定区域内逐点“轰击”出各种信号。这里所收集、利用的主要是从块状样品表面“反射”回来的各种信号，包括作用后的部分初始电子（即背散射电子）和初始电子失能所引起的二次激发信号。对于电镜分析有意义的二次激发为

1．低能二次电子，

2．电子一空入对（电子束感生信号）

3阴极荧光，

4．持征X射线，

5．俄歇（A。8‘r）电子。

金相显微镜--扫描电镜的基本原理

此外，少数实验中也有利用样品中的吸收电子和透射电子作分析的。当电子束在样品上扫描时，利用同步扫措技术，使显像管荧光屏上也有一光点在同步扫描。依靠从样品各点处收集到的有用信息，使荧光屏上相应的光点得到不同程度的加亮。这就是扫描电镜中所果用的逐点成像原理。

扫描电镜有许多优点，所以在很多领域中得到了广泛的应用。这些优点可楔括为：（一）景深长，因此图像富有立体感；（二）图像约放大倍数可在大范围内连续改变，而且对样品的分辨率也较高；[三）样品室体积大可容纳较大尺度的样品，样品可动范围大．而且制样要求简便；（四）因电子照射引起的样品损伤和污染程度很??；（五）在观察形貌的同时还可作其他多种分析。扫措电镜的缺点是，和透射电镜相比它的分辨牢不够高，且不能用于观察样品内部的微纲结构。

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