您好, 歡迎來(lái)到化工儀器網(wǎng)
高溫老化房的主要功能及故障分析
高溫老化房是為了達(dá)到滿意的合格率，幾乎所有產(chǎn)品在出廠前都要先藉由老化。
在半導(dǎo)體業(yè)界，器件的老化問(wèn)題一直存在各種爭(zhēng)論。像其它產(chǎn)品一樣，半導(dǎo)體隨時(shí)可能因?yàn)楦鞣N原因而出現(xiàn)故障，高溫老化房老化就是藉由讓半導(dǎo)體進(jìn)行超負(fù)荷工作而使缺陷在短時(shí)間內(nèi)出現(xiàn)，避免在使用早期發(fā)生故障。如果不藉由老化，很多半導(dǎo)體成品由于器件和制造制程復(fù)雜性等原因在使用中會(huì)產(chǎn)生很多問(wèn)題。
在開(kāi)始使用后的幾小時(shí)到幾天之內(nèi)出現(xiàn)的缺陷稱為早期故障，老化之后的器件基本上要求100%消除由這段時(shí)間造成的故障。準(zhǔn)確確定高溫老化房老化時(shí)間的方法是參照以前收集到的高溫老化房老化故障及故障分析統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，而大多數(shù)生產(chǎn)廠商則希望減少或者取消老化。
高溫老化房老化制程必須要確保工廠的產(chǎn)品滿足用戶對(duì)可靠性的要求，除此之外，它還必須能提供工程數(shù)據(jù)，以便用來(lái)改進(jìn)器件的性能。
對(duì)于高溫老化房的故障分析：
1、對(duì)制冷系統(tǒng)進(jìn)行查漏，用檢漏儀和肥皂水相結(jié)合的方法檢查，發(fā)現(xiàn)一熱氣旁通電磁閥的閥桿裂了約1cm的細(xì)縫。更換此電磁閥，對(duì)系統(tǒng)重新充氟，系統(tǒng)運(yùn)行正常。由于上文可以看出，對(duì)該故障現(xiàn)象的分析和判斷基本上是有易至難，先“外"后“里"，先“電氣"后“制冷"的脈絡(luò)進(jìn)行分析和判斷的，熟悉和了解試驗(yàn)箱的原理和工作過(guò)程是分析故障判斷故障的基礎(chǔ)。
2、未確定故障原因，結(jié)合試驗(yàn)箱的控制過(guò)程進(jìn)一步確認(rèn)故障原因，該試驗(yàn)箱擁有兩套制冷機(jī)組。一為主機(jī)組，另一為輔助機(jī)組，在降溫速率較大時(shí)，兩組機(jī)組同時(shí)工作，在溫度保持階段初期，兩組機(jī)組依然同時(shí)工作。待溫度初步穩(wěn)定下來(lái)，輔助機(jī)組停止工作，由主機(jī)組來(lái)維持溫度的穩(wěn)定。如果主機(jī)組R23泄露，會(huì)使主機(jī)組的制冷效果不大，由于降溫過(guò)程中，兩機(jī)組同時(shí)工作，故沒(méi)有溫度穩(wěn)定不住的現(xiàn)象，而指示降溫速率降低。在溫度保持階段，一旦輔助機(jī)組停止工作，主機(jī)組又無(wú)制冷作用，試驗(yàn)箱內(nèi)的空氣就會(huì)緩慢上升，當(dāng)溫度上升到一定程度，控制系統(tǒng)就會(huì)啟動(dòng)輔助機(jī)組來(lái)降溫，將溫度下降至設(shè)定值(-55℃)附近，然后輔助機(jī)組又停止工作，如此反復(fù)，便會(huì)出現(xiàn)如圖3所示的故障現(xiàn)象。至此，已確認(rèn)生產(chǎn)故障的原因是主機(jī)組的低溫(R23)級(jí)機(jī)組的制冷劑R23泄漏。
3、電氣系統(tǒng)沒(méi)有問(wèn)題，繼續(xù)檢查制冷系統(tǒng)。首先檢查兩組制冷機(jī)組的低溫(R23)級(jí)壓縮機(jī)的排氣和吸氣壓力都較正常值偏低，而且吸氣壓力呈抽空狀態(tài)，說(shuō)明主制冷機(jī)組的制冷劑量不足。用手摸主機(jī)組R23壓縮機(jī)的排氣和吸氣管路，發(fā)現(xiàn)排氣管路的溫度不高，吸氣管路的溫度也不低(未結(jié)霜)，這也說(shuō)明了主機(jī)組的R23制冷劑缺乏，系統(tǒng)漏氟。
4、由于是溫度保持不住，觀察制冷壓縮機(jī)在試驗(yàn)箱運(yùn)行過(guò)程中是否能夠啟動(dòng)，壓縮機(jī)在試驗(yàn)箱運(yùn)行過(guò)程中都能夠啟動(dòng)，說(shuō)明從主電源到各壓縮機(jī)的電器線路正常，電器系統(tǒng)方面也沒(méi)有問(wèn)題。
5、高低溫試驗(yàn)箱能過(guò)制冷，說(shuō)明外部因素冷卻水的問(wèn)題可以排除。