原子荧光光谱仪是较新型X射线荧光光谱仪，具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。薄膜分析软件FP-MULT1能作镀层分析，薄膜分析。测量样品的较大尺寸要求为直径51毫米，高40毫米。
原子荧光光谱仪与原子吸收光谱仪的结构与所用的部件基本相同,差别在于:
?、傥苊饧し⒎浣思觳馄饔跋煸佑庑藕诺募觳?原子荧光光谱仪的检测器与激发光束不在同一直线上,通常成直角配置;
?、谠游展馄追治鍪遣饬咳肷浞涔馇坑胪干浞涔馇康谋戎?而原子荧光光谱分析是直接测量与交光激发光源强度成正比的原子荧光强度,为③获得较大的辐照立体角,许多原子荧光光谱仪不用分光部件。
原子荧光光谱谱线相对简单，元素间谱线重叠较少，所以原子荧光光谱仪的光路系统通常较为简单，当采用蒸气发生法时，只有能形成氢化物及形成原子蒸气的元素进入原子化区，可以采用非色散系统，因此仪器的光学系统简单、结构紧凑，易于实现商品化和小型化。
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