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派克700系列散裝設(shè)計(jì)閥（帶高流量波紋管）在超高純度（UHP）氣體分配和批量輸送系統(tǒng)中提供的性能和可靠性。
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
- 700系列*的低重量設(shè)計(jì)降低了與市場上相似尺寸和流量能力閥門相比的安裝成本。它具有優(yōu)異的泄漏完整性和氣體容納能力，是用于對(duì)清潔度有嚴(yán)苛要求工藝的理想選擇，包括微電子加工制造業(yè)。
700系列散裝設(shè)計(jì)閥比傳統(tǒng)的球閥設(shè)計(jì)具有許多優(yōu)點(diǎn)，包括zui小化的顆粒產(chǎn)生和較低的內(nèi)部和外部泄漏率。這減少了工藝氣體污染，是對(duì)晶片/半導(dǎo)體生產(chǎn)至關(guān)重要的。
閥門的構(gòu)造材料提高閥門的耐久性和耐工藝氣體腐蝕性。本體由電拋光處理的316L不銹鋼制成。 1.5英寸及以上的閥門采用Inconel 625合金的波紋管，這提供了的強(qiáng)度和耐腐蝕性，所供的700系列，在工作壓力高達(dá)375 psig時(shí)具有zui長的循環(huán)使用壽命。
700系列閥門是在100級(jí)潔凈室內(nèi)制作而成的。通過使用質(zhì)譜儀，100％的閥門都 進(jìn)行了內(nèi)部及閥座部分氦氣泄漏測(cè)試，以確保UHP應(yīng)用中的性能和可靠性。
市場
• 半導(dǎo)體晶圓廠
• 燃?xì)夤?br />
特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：
• 輕巧的設(shè)計(jì)降低了安裝成本
• 尺寸可達(dá)6英寸
• zui大工作壓力375 psig（250 psig 1英寸）
• 內(nèi)部泄漏率：1 x 10-10 scc / sec He（額定值）
• 外部泄漏率：1 x 10-10 scc / sec He
• 可提供手動(dòng)和氣動(dòng)（AOP）配置
• 氣動(dòng)執(zhí)行器選項(xiàng)：1英寸，1.5英寸和2英寸
• 可選進(jìn)口和出口吹掃口 德國化工DCS成套派克高流量分裝閥（375 PSIG） - 700系列德國化工DCS成套派克高流量分裝閥（375 PSIG） - 700系列