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德國化工DCS成套派克高流量分裝閥(375 PSIG) - 700系列

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參考價(jià) 200
訂貨量 1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 700系列
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 上海市
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更新時(shí)間:2023-11-03 17:29:50瀏覽次數(shù):688

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產(chǎn)品簡介

德國化工DCS成套派克高流量分裝閥(375 PSIG) - 700系列
派克700系列散裝設(shè)計(jì)閥(帶高流量波紋管)在超高純度(UHP)氣體分配和批量輸送系統(tǒng)中提供的性能和可靠性。

詳細(xì)介紹

  • 700系列*的低重量設(shè)計(jì)降低了與市場上相似尺寸和流量能力閥門相比的安裝成本。它具有優(yōu)異的泄漏完整性和氣體容納能力,是用于對清潔度有嚴(yán)苛要求工藝的理想選擇,包括微電子加工制造業(yè)。

    700系列散裝設(shè)計(jì)閥比傳統(tǒng)的球閥設(shè)計(jì)具有許多優(yōu)點(diǎn),包括zui小化的顆粒產(chǎn)生和較低的內(nèi)部和外部泄漏率。這減少了工藝氣體污染,是對晶片/半導(dǎo)體生產(chǎn)至關(guān)重要的。

    閥門的構(gòu)造材料提高閥門的耐久性和耐工藝氣體腐蝕性。本體由電拋光處理的316L不銹鋼制成。 1.5英寸及以上的閥門采用Inconel 625合金的波紋管,這提供了的強(qiáng)度和耐腐蝕性,所供的700系列,在工作壓力高達(dá)375 psig時(shí)具有zui長的循環(huán)使用壽命。
      
    700系列閥門是在100級潔凈室內(nèi)制作而成的。通過使用質(zhì)譜儀,100%的閥門都 進(jìn)行了內(nèi)部及閥座部分氦氣泄漏測試,以確保UHP應(yīng)用中的性能和可靠性。   
                        
    市場
    • 半導(dǎo)體晶圓廠
    • 燃?xì)夤?br />
    特點(diǎn)與優(yōu)勢:
    • 輕巧的設(shè)計(jì)降低了安裝成本
    • 尺寸可達(dá)6英寸
    • zui大工作壓力375 psig(250 psig 1英寸)
    • 內(nèi)部泄漏率:1 x 10-10 scc / sec He(額定值)
    • 外部泄漏率:1 x 10-10 scc / sec He
    • 可提供手動(dòng)和氣動(dòng)(AOP)配置
    • 氣動(dòng)執(zhí)行器選項(xiàng):1英寸,1.5英寸和2英寸
    • 可選進(jìn)口和出口吹掃口                                                                                                                                        德國化工DCS成套派克高流量分裝閥(375 PSIG) - 700系列德國化工DCS成套派克高流量分裝閥(375 PSIG) - 700系列                                                                    

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