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韓國(guó)Line Tech氣體質(zhì)量流量控制器

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  • 型號(hào) M30系列
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更新時(shí)間:2017-12-26 15:28:53瀏覽次數(shù):2520

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韓國(guó)Line Tech氣體質(zhì)量流量控制器MFC為Mass Flow Controller的縮寫(xiě)。能夠在較大的量程范圍內(nèi)對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。

詳細(xì)介紹

韓國(guó)LINE TECH M30系列氣體質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺(tái)、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲(chǔ)存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過(guò)程控制器、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。

韓國(guó)LINE TECH M30系列氣體質(zhì)量流量控制器主要參數(shù):

流量范圍:               0.005-125(slpm)

響應(yīng)時(shí)間:               ≤2

精    度:        ≤1%

重 復(fù) 性:        ±0.25

輸出信號(hào):        0-5vdc或4-20mA

供電電壓:        15-28vdc

溫度范圍:        0-50℃

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