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原子力显微镜(AFM) | 敲击模式，接触模式(选配)，所有探针或样品扫描的AFM操作模式 |
近场扫描光学显微镜(NSOM) | 透射模式，反射模式，收集模式，照明模式 |
微分干涉对比(DIC) | 反射和透射 |
折射率成像(Refractive-Index Profiling) | 反射和透射 |
热传导及扩展电阻成像 | 接触模式，敲击模式，音叉反馈模式(无反馈激光引入干扰信号,选配) |
在线远场共聚焦(和拉曼及荧光光谱成像) | 反射和透射，针对选择性拉曼散射超薄膜的探针增强拉曼散射 |
纳米蚀刻(NanoLithography) | NanoFountainPen传输化学物质和气体，近场光刻及其他传统纳米蚀刻如电致氧化等，另一根探针进行在线分析 |
纳米压痕(NanoIndentation) | 兆帕力的应用，精确定位及力的控制，另一根探针进行在线分析 |
以上所有功能都可以与在线AFM成像*兼容 |
样品扫描器 | 压电材料制薄片扫描器 (3D Flat Scanner™) 厚度为7毫米 |
探针扫描器 | zui多四个独立控制的压电材料制薄片扫描器模块 (3D Flat Scanner™) 厚度为7毫米 |
扫描范围 | 探针扫描模式，每只探针扫描范围： 30 microns (XYZ) 样品扫描模式，扫描范围： 100 microns (XYZ) 样品和探针扫描模式，扫描范围： 130 microns (XYZ) 样品和两个探针扫描模式，扫描范围： 160 microns (XY) |
扫描分辨率 | < 0.05 nm (Z) < 0.15 nm (XY) < 0.02 nm (XY) 低电压模式 |
粗调定位 | 样品粗调定位：XY马达控制台– 范围5毫米 – 分辨率0.25微米 探针粗调定位：XY马达控制台– 范围5毫米 – 分辨率0.25微米 Z马达控制台– 范围10毫米 – 分辨率0.065微米 |
反馈机制 | 音叉反馈，悬臂梁光束反弹反馈(选配) |
样品几何要求 | 样品尺寸：标准配置下,直径zui大至16毫米 正置显微镜下使用,直径zui大至34毫米 只使用探针扫描, 直径zui大至55毫米 可按客户要求定制大尺寸样品操作仪器,直径zui大至8英寸 特殊样品形状：如竖直样品进行边缘成像等 |
探针 | 各种针尖外露的玻璃探针，各种常规悬臂梁硅探针均可使用 |
远场 | 受光衍射几何限制 |
光学 | 500纳米 |
共聚焦 | 200纳米 |
近场扫描光学 | 100纳米，条件下可达到50纳米(由探针孔径决定) |
形貌 | Z向噪声0.05纳米 rms. XY横向分辨率：由针尖直径和样品的卷积决定 |
热成像 | 100纳米起，温度灵敏度0.01ºC，300 ºC或更高(由样品决定) |
电阻成像 | 25纳米起 |
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