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纳米(微米)压痕/划痕测试仪
  • 纳米(微米)压痕/划痕测试仪

更新时间:2025-03-27 21:00:08

浏览次数:1143

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仪器特点
1) 多频率压痕测试 – 这种技术对于塑料高分子、MEMs等黏弹性受频率影响的材料变形研究非常有用,提供材料纳米压痕试验全频率范围的黏弹性响应;
2) 深至15nm的硬度&杨氏模量测试;
3) Windows XP环境下自动操作;
4) Spherical, Vickers及Berkovich纳米压痕测试;
5) 材料黏弹性的动态机械分析;
6) 潜变、疲劳、断裂刚性测试;
7) 压痕的分布地图绘制(Mapping);
8) 选配的高低温测试;
9) AFM/SPM成像用于纳米尺度压痕图像观测;
10) 可以升级增加纳米(微米)划痕、微米硬度测试??楣δ埽?
 
纳米压痕试验仪规格
 zui大压痕深度
 4µm & 25µm自动距离修正(1000µm可选配)
 深度分辨率(理论)
 0.006nm
 深度分辨率(防振台*)
 0.5nm
 zui大负载
 50mN & 500mN自动距离修正
 负载分辨率(理论)
 0.08µN
 负载分辨率(防振台*)
 1µN
 X-Y运动范围
 200 x 100毫米
 X-Y横向分辨率
 0.15µm
 Z向马达
 90毫米
 物镜镜头
 标准: 10x, 50x, 100x (选配: 5x, 20x)
 * 依赖实验室环境
 
 
应用领域
半导体技术(钝化层、镀金属、Bond Pads);
存储材料(磁盘的?;げ?、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层);
光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦?;げ?;
金属蒸镀层;
防磨损涂层(TiN, TiC, DLC, 切割工具);
药理学(药片、植入材料、生物组织);
工程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS);

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