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更新时间：2025-03-27 21:00:08

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产品简介详细介绍

仪器特点

1) 多频率压痕测试 – 这种技术对于塑料高分子、MEMs等黏弹性受频率影响的材料变形研究非常有用，提供材料纳米压痕试验全频率范围的黏弹性响应；

2) 深至15nm的硬度&杨氏模量测试；

3) Windows XP环境下自动操作；

4) Spherical, Vickers及Berkovich纳米压痕测试；

5) 材料黏弹性的动态机械分析；

6) 潜变、疲劳、断裂刚性测试；

7) 压痕的分布地图绘制(Mapping)；

8) 选配的高低温测试；

9) AFM/SPM成像用于纳米尺度压痕图像观测；

10) 可以升级增加纳米(微米)划痕、微米硬度测试?？楣δ?；

纳米压痕试验仪规格
zui大压痕深度	4µm & 25µm自动距离修正(1000µm可选配)
深度分辨率(理论)	0.006nm
深度分辨率(防振台＊)	0.5nm
zui大负载	50mN & 500mN自动距离修正
负载分辨率(理论)	0.08µN
负载分辨率(防振台＊)	1µN
X-Y运动范围	200 x 100毫米
X-Y横向分辨率	0.15µm
Z向马达	90毫米
物镜镜头	标准: 10x, 50x, 100x (选配: 5x, 20x)
＊依赖实验室环境

应用领域

半导体技术(钝化层、镀金属、Bond Pads)；

存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的?；げ?；

光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦?；げ?；

金属蒸镀层；

防磨损涂层(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；

药理学(药片、植入材料、生物组织)；

工程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS)；

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