镀银层测厚仪Thick8000原厂原装技术指标

分析元素范围：硫（S）～铀（U）

同时检测元素：多24个元素，多达5层镀层

检出限：可达2ppm，薄可测试0.005μm

分析含量：一般为2ppm到99.9%

镀层厚度：一般在50μm以内（每种材料有所不同）

重复性：可达0.1%

稳定性：可达0.1%

SDD探测器：分辨率低至135eV

良好的微孔准直技术：小孔径达0.1mm小光斑达0.1mm

样品观察：配备全景和局部两个工业高清摄像头

准直器：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与Ф0.3mm四种准直器组合

仪器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm

样品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm

样品台尺寸：393（W）x 258 （D）mm

X/Y/Z平台移动速度：额定速度200mm/s 速度333.3mm/s

X/Y/Z平台重复定位精度：小于0.1um

操作环境湿度：≤90%

操作环境温度：15℃～30℃

镀银层测厚仪Thick8000原厂原装性能优势

1.精密的三维移动平台

2.的样品观测系统

3.良好的图像识别

4.轻松实现深槽样品的检测

5.四种微孔聚焦准直器，自动切换

6.双重?；ご胧?，实现无缝防撞

7.采用大面积高分辨率探测器，有效降低检出限，提高测试精度