价格区间 | 20万-50万 |
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产品简介
详细介绍
参数规格
1 分析元素范围:K-U
2 同时可分析多达5层以上镀层
3 分析厚度检出限达0.005μm
4 多次测量重复性可达0.01μm
5 定位精度:0.1mm
5 测量时间:30s-300s
6 计数率:1300-8000cps
7 Z轴升降范围:0-140mm
8 X/Y平台可移动行程:50mm(W)×50mm(D)
性能特点
1 满足各种不同厚度样品以及不规则表面样品的测试需求
2 φ0.1mm的小孔准直器可以满足微小测试点的需求
安装要求:
1 环境温度要求:15℃-30℃
2 环境相对湿度:<70%
3 工作电源:交流220±5V
4 周围不能有强电磁干扰。
Thick800A艺慈精度高的膜厚仪