X射線熒光光譜儀是基于X射線的一種分析技術(shù)，當(dāng)一束高能粒子與原子相互作用時(shí)，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結(jié)合能，將該軌道電子逐出，形成一個(gè)空穴使原子處于激發(fā)態(tài)，由于激發(fā)態(tài)不穩(wěn)定，外層電子向空穴躍遷使原子恢復(fù)到平衡態(tài)，躍遷時(shí)釋放出的能量以輻射的形式放出便產(chǎn)生X熒光。

　　X熒光具有特征的波長，對(duì)應(yīng)的即是特征的能量，通過對(duì)光子的特征波長進(jìn)行辨識(shí)，XRF能實(shí)現(xiàn)對(duì)元素的定性分析，通過探測特征波長的X射線光子的強(qiáng)度，實(shí)現(xiàn)元素的定量和半定量分析。

　　下面我們來看看X射線熒光光譜儀該如何維護(hù)保養(yǎng)：

　　1、探測器性能一般用波高分布曲線的半寬高來衡量，若半寬高增大則說明分辨能力下降，檢測器品質(zhì)變壞。

　　2、真空系統(tǒng)是X射線熒光光譜儀的重要組成部分。對(duì)于真空泵，主要是應(yīng)該定期檢查真空泵油的油質(zhì)和油量，檢查油質(zhì)時(shí)如果有白色或黑色，就說明油質(zhì)不正常，應(yīng)該立即更換泵油。

　　3、X射線熒光光譜儀中昂貴的部分是高壓 X射線光管，它是儀器的核心部件。X射線光管對(duì)冷卻水的溫度、壓力、電導(dǎo)率都有嚴(yán)格的要求，其佳冷卻水溫為 22℃～24℃，一般不能超過 30℃，超過 35℃則使用壽命會(huì)大大降低。內(nèi)部循環(huán)水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內(nèi)部循環(huán)水為電導(dǎo)率很低的去離子水（必須保證該冷卻水的電導(dǎo)率＜2 μs／cm），以防高壓擊穿導(dǎo)致 x射線光管損壞。

　　4、分光晶體是具有把 X 射線熒光按波長順序分開成光譜作用的晶體。影響分光晶體穩(wěn)定性的因素有：溫度、濕度、酸堿度等。