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ULVAC 隔膜式干真空泵膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/...

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ULVAC 涡旋式干式真空泵结构紧凑，排气量大。干式真空泵的最高压力水平。内置自动复位型热?；て鳎ǖハ嘤茫┌踩杓?。通过空气冲洗抑制水分凝结。

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ULVAC 涡旋式干式真空泵结构紧凑，排气量大。干式真空泵的最高压力水平。内置自动复位型热保护器（单相用）安全设计。通过空气冲洗抑制水分凝结。

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ULVAC 涡旋式干式真空泵?双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。?可在大气压下实现操作运行。?可实现高极限真空。?低振动低噪音。?维护周期可通过计时表...

ULVAC 涡旋式干式真空泵?双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。?可在大气压下实现操作运行。?可实现高极限真空。?低振动低噪音。?维护周期可通过计时表...

ULVAC 涡旋式干式真空泵通过固定涡旋壁(固定涡轮)与对面涡旋壁(从动涡轮)的偏心运动,进行排气的真空泵。

ULVAC 多级罗茨型干式真空泵大排气量、小型尺寸。不会发生真空油的返流和油雾。无摩擦部分、长寿命。

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ULVAC 空冷式多级罗茨型干式真空泵用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵用于排出空气，氮气，氩气等惰性气体的干泵溅射设备等的loading/unloadi...

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ULVAC 空冷式多级罗茨型干式真空泵通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。