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酸蒸馏纯化系统已普遍运用于AA、ICP-OES、ICP-MS等领域痕量元素分析中超纯酸制备和试剂提纯等实验室常规应用。借助酸纯化装置，所纯化的酸的纯度经过测试超过进口超纯酸。德国麦森公司生产的ACIDST-P酸纯化系统采用红外加热亚沸蒸馏原理制备超纯酸，自动控制蒸馏的开启、关闭时间和温度， 所提取的冷凝物收集在PFA材质的容器里。经过一次蒸馏后，酸中大部分金属含量可以降低到PPB级以下，*ICP、ICP-MS极低的检测需求。
经ACIDST-P一次亚沸蒸馏后，酸中大部分金属含量<0.05PPB（参见下表）：
| 元素 | 测量浓度（ppb） | 元素 | 测量浓度（ppb） |
| Ag（银） | <0.05 | In（铟） | <0.05 |
| Al（铝） | 0.2 | K（钾） | 0.6 |
| As（砷） | <0.05 | Li（锂） | <0.05 |
| Au（金） | <0.05 | Mg（镁） | 0.08 |
| Ba（钡） | <0.05 | Mn（锰） | <0.05 |
| Be（铍） | <0.1 | Mo（钼） | <0.05 |
| Bi（铋） | <0.05 | Ni（镍） | 0.3 |
| Ca（钙） | 0.1 | Pb（铅） | <0.05 |
| Cd（镉） | <0.05 | Sb（锑） | <0.05 |
| Co（钴） | <0.05 | Sn（锡） | <0.05 |
| Cr（铬） | <0.05 | Sr（锶） | <0.05 |
| Cu（铜） | <0.05 | Ti（钛） | <0.1 |
| Fe（铁） | 0.25 | Tl（铊） | <0.05 |
| Ga（镓） | <0.05 | V（钒） | <0.05 |
| Ge（锗） | 0.4 | Zn（锌） | <0.05 |
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