日本KOGANEI 小金井潔凈度監(jiān)測監(jiān)視器。
工件范圍內潔凈度確認的常時檢測CC監(jiān)視器DTY-CMH-01。 能夠對于污染發(fā)生進行多點、常時檢測、早期發(fā)現(xiàn)問題。