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SMC新推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產品采用平行密封結構，可對應300mm晶圓。適用于半導體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。
SMC平行密封型門閥XGTP系列產品參數：長壽命：300萬次（常溫時）
低發(fā)塵：發(fā)塵量減少到1/5以下（與舊型號相比）
省氣：耗氣量減少22%
輕量：14kg（盒式）
工作窗尺寸：50mm X 336mm
平行密封構造
門上升、下降的直線動作和門開閉的夾緊采用平行密封（L motion）構造，降低了摩擦系數，可大幅減少發(fā)塵量并延長使用壽命。
應用場合
半導體加工過程中，針對各工藝腔室之間的隔離。