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手持式四探針測試儀四探針測試儀型號：GZ-RTS-3

	測量范圍寬、度、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作的手持式；
	體積僅為：185mm（長）90mm（寬）30mm（）；重量：350g；
	使用鋰電池供電，次充電可連續(xù)使用100小時；

    RTS-3型手持式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而的，用于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
    儀器采用了電子行、裝配。具有能選擇直觀、測量取數(shù)快、度、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等點。如有需要可加配測試臺使用。
    本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、等院校對半導體材料的電阻性能測試。

　術　　標 ：

測量范圍	電阻率：0.01～1999.9Ω.cm；方塊電阻：0.1～19999Ω/□；
恒源	電量程分為100μA、1mA兩檔，兩檔電連續(xù)可調
數(shù)字電壓表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ；度：±0.1%；顯示：以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰；性、量程自動顯示；
四探針探頭基本標	間距：1±0.01mm；針間緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓（總力）；
四探針探頭應用參數(shù)	（見探頭附帶的合格證）
模擬電阻測量相對誤差（按JJG508-87行）	1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差	（用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5%
整機測量標準不確定度	≤5%
外型尺寸	185mm（長）90mm（寬）30mm（）
重量	350g
電源	鋰電池，次充電可連續(xù)使用100小時；
標準使用環(huán)境	溫度：23±2℃；相對濕度：≤65%；無頻干擾；無強光直射