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能薄膜性测试仪型号:HAD0-70601

仪器由四探针测试仪和非晶硅薄膜电导率测量仪两分组成。具有测量度，灵敏度，稳定性好，测量范围宽，结构紧凑，使用方便等点。仪器适用于半导体材料厂，半导体器件厂，科研单位，等院校对半导体材料的电阻性能的测试。

四探针测试仪由主机，测试架等分组成?？梢圆饬科矗樽?，块状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻），能材料暗电导和光电导及温度的变化的性，还可以对金属导体的低，中值电阻行测量。测试探头采用宝石导向轴套和耐磨碳化钨探针制成，故定位准确，游移率小，寿命长。

非晶硅薄膜电导率测量仪由样品室，温控系统，真空系统，阻测量系统等分组成。

1. 测量范围：电阻测量范围：1×106 1×1017Ω；

电阻率：0.001～200Ω cm;

电导率：0.005～1000s/cm;

2. 可测晶片直径：200mm×200mm;

3. 探针：碳化钨或速钢；探针间距：1± 0.01mm;

4. 针间缘电阻： ≥ 1000 MΩ；机械游移率：≤0.3%；

5. 本底真空度： ≤10Pa,气压可控范围：10～400Pa;

衬底加热温度：室温度～200℃

能薄膜性测试仪 能薄膜性测试仪HZDH0-70601

产品名称：综合校验仪
产品型号：HS-VD3002

综合校验仪型号：HS-VD3002

本仪器采用三路立LED数码显示系统，内置两组立的稳定信号发生器，可同时显示两路输出直模拟电压、电信号及路测量直电、电压信号。本仪器采用交供电、显示清楚、稳定，既能使用于实验室对自动化仪表行维修、校验及计量，又能使用于现场，对仪表行安装、调试及维修。

本仪器能齐、显示直观、操作简单、携带方便、适用面广，是种理想的校验仪器。

二 主要标

◆ 两种输出电压、电信号

·OUT1: 1.000V、3.000V、5.000V 定值

0～5.000V 连续可调（内阻250Ω）

mV1: 0～ 19.999mV 连续可调（内阻1Ω）

mV2: 0～ 100.00mV 连续可调（内阻5Ω）

mA1: 0～ 19.999mA 连续可调（RL≤ 600Ω）

mA2: 0～ 22.00mA 连续可调（RL≤600Ω）

·OUT2 : 1V、2V、3V、4V、5V 定值（内阻250Ω）

4.000mA、8.000mA、12.000mA、16.000mA、19.999mA 定值（RL≤600Ω）

◆ 输出准确度： ±0.05%F.S±1个字

◆ 测量电压、电信号

DCV: 0.2V、2V、20V、200V 四个量程

DCA： 0～200mA

◆ 测量准确度： ±0.05%F.S±1个字

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