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北京恒奧德儀器儀表有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第16年

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數(shù)顯勻膠臺(tái)GP/SJT-A

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數(shù)顯勻膠臺(tái)/勻膠臺(tái) 型號(hào):GP/SJT-A


本機(jī)是用于半導(dǎo)體、集成電路及激光息商標(biāo)制過程中,在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上行涂布光刻(感光)膠的用設(shè)備。本機(jī)的作原理是利用速旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的離心力,將滴于基片上多余的光刻(感光)膠液甩去,在光刻(感光)膠表面張力和離心力的共同作用下,展成厚度均勻的膠膜。本機(jī)具有勻膠效率、使用方便等優(yōu)點(diǎn),勻膠速度和勻膠時(shí)間分別可調(diào),電器電路具有較的穩(wěn)定性,結(jié)構(gòu)合理,旋轉(zhuǎn)平穩(wěn),轉(zhuǎn)速、時(shí)間采用數(shù)字顯示,直觀性強(qiáng)。本機(jī)可與光刻機(jī)配套使用。
主要參數(shù):
1、作電壓:380V/220V
2、整機(jī)率:1200W
3、勻膠時(shí)間控制范圍:0.01-99.99秒;0.01-99.99分

4、轉(zhuǎn)速:

0-8000Rpm
5、裝片直徑(可根據(jù)用戶要求定制):ф35-75mm
6、勻膠位(可根據(jù)用戶要求定制):1-4位
7、外形尺寸:

長*寬*  850*810*1600mm

8、凈重:120kg
本機(jī)是用于半導(dǎo)體、集成電路及激光息商標(biāo)制過程中,在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上行涂布光刻(感光)膠的用設(shè)備。本機(jī)的作原理是利用速旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的離心力,將滴于基片上多余的光刻(感光)膠液甩去,在光刻(感光)膠表面張力和離心力的共同作用下,展成厚度均勻的膠膜。本機(jī)具有勻膠效率、使用方便等優(yōu)點(diǎn),勻膠速度和勻膠時(shí)間分別可調(diào),電器電路具有較的穩(wěn)定性,結(jié)構(gòu)合理,旋轉(zhuǎn)平穩(wěn),轉(zhuǎn)速、時(shí)間采用數(shù)字顯示,直觀性強(qiáng)。本機(jī)可與光刻機(jī)配套使用。
主要參數(shù):
1、作電壓:380V/220V
2、整機(jī)率:1200W
3、勻膠時(shí)間控制范圍:0.01-99.99秒;0.01-99.99分

4、轉(zhuǎn)速:

0-8000Rpm
5、裝片直徑(可根據(jù)用戶要求定制):ф35-75mm
6、勻膠位(可根據(jù)用戶要求定制):1-4位
7、外形尺寸:

長*寬*  850*810*1600mm

8、凈重:120kg


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