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222次自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀/橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀 型號(hào)：TP-TPY-2 裝箱單 序號(hào) 名 稱 規(guī)格或型號(hào) 數(shù)量 備 注 1 自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀主機(jī) TP-TPY-2 1臺(tái) 2 主機(jī)電控箱 TP-TPY-2 1臺(tái) 3 Q9連接線 1根 4 數(shù)據(jù)連接線 1根 5 電源線 2根 6 15線連接電纜 1根 7 USB連接電纜 1根 8 二氧化硅膜樣片 1張 ９ 軟件安裝盤 TP-TPY-2 1張 10 使用說(shuō)明書 TP-TPY-2 1份 11 裝箱單 TP-TPY-2 1份 12 產(chǎn)品合格證 TP-TPY-2 1份產(chǎn)品點(diǎn)：儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率，具有度、靈敏度以及自動(dòng)控制等點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，率穩(wěn)定波長(zhǎng)度。儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件能齊，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。 規(guī)格與主要標(biāo)：測(cè)量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍：1-10 測(cè)量zui小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°度≤0.05°度盤刻度：每格1度 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm偏振器步角：0.014°/步 偏振器方位角范圍：0°- 180° 測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性度分別為：0.5nm和0.005儀器測(cè)量度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時(shí)）光學(xué)中心度：80mm 成套性：主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計(jì)算機(jī)）主機(jī)重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm
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