• X方向采用滑動(dòng)導(dǎo)軌作為水平移動(dòng)的直線基準(zhǔn)，導(dǎo)軌移動(dòng)的距離采用度的光柵行計(jì)量；
• Z方向立柱也采用滑動(dòng)導(dǎo)軌，并采用編碼器行測量，由電機(jī)-滾珠絲杠系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)；
• 可行粗糙度和輪廓度的測量，可測量、驅(qū)動(dòng)、計(jì)算、顯示等，系統(tǒng)具有便攜能，可單使用，靈活方便；
• 測量軟件采用 Windows平臺(tái)，采用內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)定義和評定，數(shù)學(xué)模型整；
• 具有調(diào)整作臺(tái)可行 Y向及各種擺角調(diào)整，用戶可根據(jù)需要自由選擇，調(diào)整使用方便，能齊；
• 測量參數(shù)多，可行直線度、曲率偏差、雙溝各種參數(shù)、平行差、度等參數(shù)的測量，并可對機(jī)械件的表面形貌如粗糙度等嚴(yán)格按照內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)行測量。
• 測量度，差動(dòng)電感傳感器測量靈敏性可達(dá) 0.01μm以內(nèi)，X向光柵靈敏性達(dá)0.5μm以內(nèi)，Z方向可行大量程度位移測量，度達(dá)4μm；
• 測量控制位多，不僅行傳統(tǒng)的 Z方向小位移測量和X方向的位移測量，還可行Z方向的大位移測量；選用Y方向移動(dòng)作臺(tái)可以測量零件的三維表面型貌。
• 采用微機(jī)控制，可手動(dòng)或自動(dòng)循環(huán)測量、自動(dòng)消除安裝誤差、自動(dòng)行量程變換、直接顯示所得形狀及各種參數(shù)，并可打印輸出，具有標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)庫存儲(chǔ)數(shù)據(jù)。

件名稱	內(nèi)容	件名稱	內(nèi)容
X方向移動(dòng) 導(dǎo)軌類型移動(dòng)長度直線度測量方式	度滑動(dòng)導(dǎo)軌 200mm 0.5 μ m/100mm 光柵計(jì)數(shù)	Z方向移動(dòng)(立拄) 導(dǎo)軌類型移動(dòng)長度驅(qū)動(dòng)方式測量方式	度滑動(dòng)導(dǎo)軌 400mm 滾珠絲杠編碼器
輪廓形狀測量傳感器類別測量范圍顯示分辨率相對誤差半徑測量誤差	度差動(dòng)電感式 ± 0.03mm，±0.5mm，±4mm 0.001μm,0.017μm,0.13μm 0.005FS 0.02-0.1 %	附件三維調(diào)整作臺(tái) 旋轉(zhuǎn)作臺(tái)	水平、傾角、擺角調(diào)整安裝軸承
粗糙度測量測量參數(shù) 測量范圍顯示分辨率粗糙度測量誤差	GB3505規(guī)定所有參數(shù) R a 0.01～10μm 65536:1 2%+4nm	Y 向移動(dòng)臺(tái)（選購）導(dǎo)軌類型移動(dòng)長度直線度測量方式	三維形貌測量用滾動(dòng)導(dǎo)軌 100mm 2 μ m/100mm 編碼器
可測量參數(shù)	GB3505規(guī)定所有輪廓、波紋度和粗糙度參數(shù)，曲率半徑、溝中心距、鎖口、凸度、對數(shù)曲線、基面、溝位置等軸承用參數(shù)。
硬件配置	DELL品機(jī)、液晶顯示器、打印機(jī)
測量軟件軟件平臺(tái) 能	windowsXP 根據(jù)被測件情況自動(dòng)選取、自動(dòng)校正、自動(dòng)分析，可手動(dòng)或自動(dòng)循環(huán)測量、自動(dòng)消除安裝誤差、手動(dòng)或自動(dòng)行量程轉(zhuǎn)換、直接顯示所得形狀及各種參數(shù)，并可打印輸出?？梢愿鶕?jù)用戶要求增減分析處理軟件。

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表面形貌測量儀使用說明

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