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型    號：HTL-3L

產(chǎn)品簡介：

本供氣（混氣）系統(tǒng)可用于多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)，尤其方便多種氣體的切換混合使用；氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，操作方便；每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全可靠！

本系統(tǒng)廣泛用于CVD供氣系統(tǒng)，氣體保護燒結(jié)，氣體保護退火等。

主要特點：

1．本配比器適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其是方便三種氣體切換使用，而不會造成大氣進入加熱爐管。

2．氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。

3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。

4．顯示流量準確，可有效地控制氣體消耗量。

5．所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。

技術(shù)參數(shù)：

氣路通道：3（可根據(jù)客戶需求設(shè)計1-8通道）

氣路流量控制器采用質(zhì)量流量計控制：

標準量程（N2）  ：200，500 SCCM

準    確    度  ：±1.5%

線          性  ：±0.5～1.5%

重  復(fù)  精  度  ：±0.2%

響  應(yīng)  時  間  ：氣特性  1～4 See

                  電特性  10 See

工作壓差范圍    ：0.1～0.5 MPa

zui  大  壓  力  ：3 MPa

接          口  ：Φ6,1/4”

顯          示  ：4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45℃

高純氣體不銹鋼管：Φ6外X Φ4內(nèi)

壓 力 真 空 表  ：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截    止    閥  ：Φ6

備注：可選配質(zhì)量流量計