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型號(hào)

有效區(qū)（mm）

裝爐量
（kg）

溫度均勻性
（±℃）

極限真空度
（pa）

壓升率
（pa/h）

zui高溫度
（℃）

加熱功率
（kw）

氣冷壓強(qiáng)
（bar）

擴(kuò)散泵

羅茨泵

機(jī)械泵

VHBmo-40-1300

400×300×300

100

5

6×10^-3

0.5

1320

40

2

選配

選配

選配

VHBmo-80-1300

600×400×400

200

5

6×10^-3

0.5

1320

80

2

選配

選配

選配

VHBmo-150-1300

900×600×600

500

5

6×10^-3

0.5

1320

150

2

選配

選配

選配

VHBmo-200-1300

1200×800×800

800

5

6×10^-3

0.5

1320

200

2

選配

選配

選配

該爐型加熱室可采用石墨管加熱，多層石墨氈隔熱的結(jié)構(gòu)加熱室，也可采用鉬帶加熱，鉬板和不銹鋼板復(fù)合隔熱的結(jié)構(gòu)加熱室。