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NIR近紅外光譜儀利用MEMS技術(shù)降低尺寸

閱讀:1554      發(fā)布時間:2016-7-28
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基于NIR近紅外光譜儀有兩種尺寸——小型與微型級。較大尺寸的機型大約有鞋盒的三分之一(相形之下,現(xiàn)有的實驗室光譜儀尺寸相當于行李箱大小),利用MEMS光學干擾濾波器,廣泛涵蓋3-11微米波長。取決于所使用的干擾量級,全寬/半高(FWHW)帶寬大約可達到50-200nm的納米級。
NIR近紅外光譜儀的完整偵測模塊,采用TO-8封裝
電子可調(diào)的通頻帶利用2個相等且可移動的反射載子,達到70%以上的zui大透射率,可讓施力于反射間隔上引起的振動與重力zui小化。
目前用于微型光譜儀中zui小Fabry-Perot干涉儀(FPI)的芯片尺寸約7mmx7mmx0.6mm
較大的光譜儀可用于取代實驗室中不需要達到zui高靈敏度或光譜范圍的光譜儀,或是作為取代某些特定應(yīng)用光譜儀的理想選擇。其他應(yīng)用包括工業(yè)工藝光譜儀、沼氣廠房控制、燃油監(jiān)測系統(tǒng)以及食品質(zhì)量分析。
較小的光譜儀基于Fabry-Perot干涉儀(FPI),可打造足以塞進TO-8封裝的小尺寸。這款FPI芯片尺寸為7x7x0.6mm2,用于擴展標準固定波長多色紅外線探測器的功能。其極低價格和小尺寸使其適于紅外線光譜的大量應(yīng)用,包括光譜成像、醫(yī)療測量、工業(yè)氣體分析儀、衰減式全反射(ATR)傳感器、手持式分析儀、傳感器網(wǎng)器、警示與安全系統(tǒng)等。

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