用于超等薄膜的超等晶体

INFICON石英晶片性能表现较为突出和可靠，是目前市场上的晶片及苛刻应用的上佳选择；在各种类型的材料、应用和行业中已有超时数百万次工艺生产应用的成功例子。

镀金，6MHz           P/N:SPC-1157-G10

镀金，6MHz           P/N:008-010-G10

银铝合金，6MHz    P/N:750-1022-G10

镀金5MHz               P/N:750-225-G2

                               P/N:750-1026-G10

双面镀金：              P/N:750-1028-G10

一、INFICON石英晶片 晶振片的优点。

1、*是世界上的晶体。

2、使用方便的新型晶体包装。

3、永远可靠的货源。

4、完善的产品线。

二﹑如何选用合适的晶振片？

镀膜科技日新月异，对于镀膜工程师来说，如何根据不同的镀膜工艺选择上佳的晶振片确实不易。下面建议供大家参考：

1)镀低应力膜料时，选择镀金晶振片

常见的镀膜是镀Al、Au、Ag、Cu，这些膜层几乎没有应力，在室温下镀膜即可。膜层较软，易划伤，但不会裂开或对基底产生负作用。建议使用镀金晶振片用于上述镀膜，经验证明，可以在镀金晶振片镀60000埃金和50000埃银的厚度。

2)使用镀银或银铝合金镀高应力膜层

Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢这些材料容易产生高应力，膜层容易从晶体基片上剥落或裂开，以致出现速率的突然跳跃或一系列速率的突然不规则正负变动。有时，这些情况可以容忍，但在一些情况下，会对蒸发源的功率控制有不良作用。

3)使用银铝合金晶振片镀介质光学膜

MgF₂、SiO2、Al2、TiO2 膜料由于良好的光学透明区域或折射率特性，被广泛用于光学镀膜，但这些膜料也是难监控的，只有基底温度大于200度时，这些膜层才会与基底有非常良好的 结合力，所以当这些膜料镀在水冷的基底晶振片上，在膜层凝结过程会产生巨大的应力，容易使晶振片在1000埃以内就回失效。

这时候，选用合金晶振片将是的选择，将大大减少调频机会。实验室显示，使用合金晶振片监视氟化镁，有效寿命比镀金的长百分之一百。如果把冷却水的温度从20度提高到50度，晶振片的寿命更可以再延长一倍。

三﹑晶振片的安装及注意事项与技巧

随着镀膜规格指标的需求日益严格，单靠光控已经难以达到要求，晶振控制成为镀膜必要的辅助或控制方法﹐如何正确有效地使用晶振片成为保证镀膜质量的核心。所以为了使晶振片寿命长，下面一些方法和技巧供您参考：

1.总是用摄子来挟住晶振片的边缘，不要碰晶振片中点。

因为晶振片振动的活跃中点，任何灰层，油污都会降低晶振片的振动能力。新的晶振片使用之前应在酒精(分析纯即可)中浸泡1分钟左右，之后用塑料镊子夹取并 用无尘纸或洁净的绸布将酒精擦拭干净，同时用蘸有酒精的无尘纸或绸布将晶振座擦拭干净，组装晶振片之前用吹气球将晶振片、晶振座及探头的接触弹簧上可能残 留的灰尘、纸屑等吹掉﹐晶振片装好后再一次用吹气球吹晶振片的表面，去除散落的灰尘。(有人建议用低压过滤的氮气或不含油的空气吹晶振片的表面，去除散落 的灰尘﹐本人认为吹气球即可﹐方便经济又快捷。)切记不要用手指直接接触晶振片以免留下油渍。

2.保持晶振片的清洁。

不要让镀膜材料的粉末接触晶振片的前后中点位置。任何晶体和夹具之间的颗?；蚧也憬跋斓缱咏哟ィ一岵αΦ?，从而改变晶体振动的模式。

3.晶振座经过多次镀膜后其表面会沉积较厚的膜

如果不将其除去，由于离子轰击产生的反溅射会影响晶振片的测试精度?？梢韵扔门缟盎蛴么蛏爸椒椒ńげ愠ィ笥镁凭?分钟左右，如果能用超声波振荡清洗一下，效果会更好，

结尾再将其放入110℃烤箱中烘烤15分钟，即可使用。

4.保持足够的冷却水使晶振头温度在20-50度。

如果可以将温度误差保持在1-2度范围内，效果更佳。