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| 泵轴位置 | 其他 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 叶轮数目 | 其他 | 应用领域 | 电子/电池,综合 |
pfeiffer（普发）分子泵
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 产品优点：
1、 四种抽速，抽速为自1,000 至 2,000 l/s
2、 对于分子量较小气体以及分子量较大气体的高抽速
3、 适用各种工艺如刻蚀, 溅镀, 要求，耐粉尘
4、 高气流量，即使对于分子量较大的气体
5、 集成的 TC 1200 驱动单元，可直接连接一般电源
6、 支援腐蚀气体
7、 带节气阀门的集成密封气体系统
8、 标准接口界面：RS-485 以及远程控制；Profibus 或者 DeviceNet 可供选择
9、 符合 IP 54 防护标准，适用于工业应用环境
10、符合 Semi S2 规范
11、符合 UL, CSA 以及 TüV 认证
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 适用领域：
1. 玻璃及刀具镀膜 2. 真空炉 3. 质谱分析 4. 研发及化工行业 5.半导体生产
产品规格：
型号 | 连接尺寸 DN | 抽速 l/s | 压缩比 | Z高启动压强mbar | 冷却方式 | 启动时间 | 重量 | |||
进气口 | 出气口 | 氮气N2 | 氦气He | 氢气H2 | 氮气N2 | 氮气N2 | min | kg | ||
HiPaceTM 1200 | 200 | 40 | 1,250 | 1,300 | 1,100 | >108 | 2 | 水冷 | 2.5 | 40 |
HiPaceTM 1500 | 250 | 40 | 1,450 | 1,350 | 1,150 | >108 | 2 | 水冷 | 2.5 | 41 |
HiPaceTM 1800 | 200 | 40 | 1,450 | 1,650 | 1,700 | >108 | 1.8 | 水冷 | 4 | 34 |
pfeiffer（普发）分子泵
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