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動(dòng)態(tài)氣體稀釋儀的維護(hù)要點(diǎn)
(一)動(dòng)態(tài)氣體稀釋儀正確使用
確保氣體輸入質(zhì)量：使用干燥、潔凈、無(wú)雜質(zhì)的氣體，避免顆粒物或水分進(jìn)入儀器，影響流量控制器(MFC)精度。對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)處理，如使用過(guò)濾器或干燥劑，去除微小雜質(zhì)。
設(shè)定合理的稀釋比與流量：依據(jù)實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)需求，設(shè)置合適的稀釋比(最高1000:1)，確保濃度匹配目標(biāo)值。在使用前檢查MFC滿量程精度(±0.2% FS)，避免超出量程導(dǎo)致誤差。
預(yù)熱與校準(zhǔn)：儀器啟動(dòng)時(shí)無(wú)需長(zhǎng)時(shí)間預(yù)熱(<1秒)，但建議在穩(wěn)定工作狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)量，以保證數(shù)據(jù)一致性。定期校準(zhǔn)流量控制器(MFC)，校正測(cè)量偏差，確保讀數(shù)精度(±0.8% Rdg)。
使用正確的控制方式：通過(guò)屏幕操作或RS - 485 Modbus RTU通信控制儀器，避免頻繁手動(dòng)調(diào)整，減少誤操作的可能性。調(diào)整PID控制參數(shù)，優(yōu)化MFC響應(yīng)速度(典型值<100ms)，提高動(dòng)態(tài)性能。
(二)日常維護(hù)
定期清潔儀器：使用干燥、無(wú)腐蝕性的布清潔外殼，防止灰塵進(jìn)入儀器內(nèi)部。定期檢查氣路接口，確保無(wú)泄漏、無(wú)堵塞。
檢查MFC狀態(tài)：避免超過(guò)最大耐壓(1MPa)，防止MFC損壞。監(jiān)測(cè)流量數(shù)據(jù)，若出現(xiàn)異常(如流量波動(dòng)大)，可能需要重新校準(zhǔn)或更換MFC。
維護(hù)電磁比例閥：電磁比例閥是確保流量控制穩(wěn)定性的關(guān)鍵部件，其使用壽命長(zhǎng)，但仍需定期檢查。避免長(zhǎng)時(shí)間處于極端環(huán)境(如高溫、高濕)運(yùn)行，以延長(zhǎng)使用壽命。
監(jiān)測(cè)溫度補(bǔ)償功能：儀器具備溫度補(bǔ)償功能(0 - 50℃)，確保不同環(huán)境下的測(cè)量穩(wěn)定性。若在溫度變化較大的環(huán)境使用，應(yīng)關(guān)注數(shù)據(jù)是否出現(xiàn)偏差，并適當(dāng)調(diào)整補(bǔ)償參數(shù)。
(三)動(dòng)態(tài)氣體稀釋儀延長(zhǎng)儀器壽命
避免超負(fù)荷運(yùn)行：按照技術(shù)參數(shù)使用儀器，避免長(zhǎng)時(shí)間高負(fù)荷工作。
保持氣體潔凈：使用高純度氣體，減少顆粒物污染。
定期維護(hù)與校準(zhǔn)：依據(jù)廠家建議，進(jìn)行年度校準(zhǔn)，確保測(cè)量精度。
存儲(chǔ)環(huán)境適宜：長(zhǎng)期不用時(shí)，存儲(chǔ)溫度應(yīng)控制在 - 40 - 85℃，避免潮濕環(huán)境影響電子元件。